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    CVD diamond coating on WC-Co cutting tool using ECR MPCVD apparatus via electrophoretic seeding pretreatment
    TSUBOTA, Toshiki ; IDA, Shintaro ; et al.
    In: Proceedings of Frontiers of Surface Engineering 2001, Nagoya, Japan, October 28-November 1, Jg. 169-70 (2003), S. 262-265
    Konferenz
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    Room temperature synthesis of SiO2 thin films by ion beam induced and plasma enhanced CVD
    BARRANCO, A ; YUBERO, F ; et al.
    In: Proceedings of the 7th International Conference on Plasma Surface Engineering, Garmisch-Partenkirchen, Germany, September 17-21, 2000, Jg. 142-44 (2001), S. 856-860
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Synthesis of silica films on a polymeric material by plasma-enhanced CVD using tetramethoxysilane
    TESHIMA, Katsuya ; INOUE, Yasushi ; et al.
    In: Proceedings of Frontiers of Surface Engineering 2001, Nagoya, Japan, October 28-November 1, Jg. 169-70 (2003), S. 583-586
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Superhard nc-TiN/a-BN and nc-TiN/a-TiBx/a-BN coatings prepared by plasma CVD and PVD: a comparative study of their properties
    KARVANKOVA, P ; VEPREK-HEIJMAN, M. G. J ; et al.
    In: Proceedings of the 29th International Conference on Metallurgic Coatings and Thin Films, San Diego, California, April 22-26, 2002, Jg. 163-64 (2003), S. 149-156
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Mechanical properties of B-C-N films synthesized by an electron beam excited plasma-CVD method
    HASEGAWA, Takeshi ; YAMAMOTO, Kazuhiro ; et al.
    In: Proceedings of Frontiers of Surface Engineering 2001, Nagoya, Japan, October 28-November 1, Jg. 169-70 (2003), S. 270-273
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Formation of titanium silicide thin films on Si(100) substrate by RF plasma CVD
    FOUAD, O. A ; YAMAZATO, M ; et al.
    In: Proceedings of Frontiers of Surface Engineering 2001, Nagoya, Japan, October 28-November 1, Jg. 169-70 (2003), S. 632-635
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Encapsulation of abrasive particles by plasma CVD
    KARCHES, M ; MORSTEIN, M ; et al.
    In: Proceedings of Frontiers of Surface Engineering 2001, Nagoya, Japan, October 28-November 1, Jg. 169-70 (2003), S. 544-548
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Preparation of transparent and conductive Al-doped ZnO thin films by ECR plasma enhanced CVD
    MARTIN, A ; ESPINOS, J. P ; et al.
    In: Proceedings of Symposium C on Protective Coatings and Thin Films-01, E-MRS Spring Conference, Strasbourg, France, June 5-8 2001, Jg. 151-52 (2002), S. 289-293
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Plasma CVD : process capabilities and economic aspects
    ESKILDSEN, S. S ; MATHIASEN, C ; et al.
    In: Proceedings of the 6th International Conference on Plasma Surface Engineering, Garmisch-Partenkirchen, Germany, September 14-18, 1998, Jg. 116-19 (1999), S. 18-24
    Konferenz
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    The growth process and optical emission spectroscopy of amorphous silicon carbide films from methyltrichlorosilane by rf plasma enhanced CVD
    KANEKO, Tsutomu ; MIYAKAWA, Noriaki ; et al.
    In: Proceedings of the 7th International Conference on Plasma Surface Engineering, Garmisch-Partenkirchen, Germany, September 17-21, 2000, Jg. 142-44 (2001), S. 360-364
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  11. Detailansicht für Treffer 11 öffnen
    Room-temperature deposition of high-purity silicon oxide films by RF plasma-enhanced CVD
    TESHIMA, Katsuya ; INOUE, Yasushi ; et al.
    In: Proceedings of the 28th International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films, San Diego, California, April 30 - May 4, 2001, Jg. 146-47 (2001), S. 451-456
    Konferenz
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  12. Detailansicht für Treffer 12 öffnen
    Comparison of radio frequency and pulsed-d.c. plasma CVD of Ti-C-N-H and Zr-C-N-H layers at low temperature
    WÖHLE, J ; GEBAUER-TEICHMANN, A ; et al.
    In: Proceedings of the 7th International Conference on Plasma Surface Engineering, Garmisch-Partenkirchen, Germany, September 17-21, 2000, Jg. 142-44 (2001), S. 661-664
    Konferenz
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  13. Detailansicht für Treffer 13 öffnen
    Role of H2 in the deposition of CNx layers by PE-HF-CVD
    DUMITRIU, D ; SCHMID, P. E ; et al.
    In: Proceedings of the 29th International Conference on Metallurgic Coatings and Thin Films, San Diego, California, April 22-26, 2002, Jg. 163-64 (2003), S. 189-195
    Konferenz
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    Wear-resistant amorphous SiC coatings produced by plasma-enhanced CVD
    BLUM, T ; DRESLER, B ; et al.
    In: Proceedings of the 6th International Conference on Plasma Surface Engineering, Garmisch-Partenkirchen, Germany, September 14-18, 1998, Jg. 116-19 (1999), S. 1024-1028
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  15. Detailansicht für Treffer 15 öffnen
    Tungsten deposition by dual-frequency inductively coupled plasma-assisted CVD
    COLPO, P ; MEZIANI, T ; et al.
    In: Proceedings of the 6th International Conference on Plasma Surface Engineering, Garmisch-Partenkirchen, Germany, September 14-18, 1998, Jg. 116-19 (1999), S. 863-867
    Konferenz
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  16. Detailansicht für Treffer 16 öffnen
    Parametric effects of residual stress in pulsed d.c. plasma enhanced CVD TiN coatings
    MA, S ; XU, K ; et al.
    In: Proceedings of the 7th International Conference on Plasma Surface Engineering, Garmisch-Partenkirchen, Germany, September 17-21, 2000, Jg. 142-44 (2001), S. 1023-1027
    Konferenz
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  17. Detailansicht für Treffer 17 öffnen
    Plasma-CVD of TiCN and ZrCN films on light metals
    RIE, K.-T ; WÖHLE, J
    In: Proceedings of the 1st Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering, Jg. 112 (1999), Heft 1-3, S. 226-229
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  18. Detailansicht für Treffer 18 öffnen
    BCN coatings on polymer substrates by plasma CVD at low temperature
    WÖHLE, J ; AHN, H ; et al.
    In: Proceedings of the 6th International Conference on Plasma Surface Engineering, Garmisch-Partenkirchen, Germany, September 14-18, 1998, Jg. 116-19 (1999), S. 1166-1171
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  19. Detailansicht für Treffer 19 öffnen
    Fabrication of nitrogen included carbon materials using microwave plasma CVD
    SAKAMOTO, Yukihiro ; TAKAYA, Matsufumi
    In: Proceedings of Frontiers of Surface Engineering 2001, Nagoya, Japan, October 28-November 1, Jg. 169-70 (2003), S. 321-323
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  20. Detailansicht für Treffer 20 öffnen
    Effect of hidden parameters for the plasma CVD synthesis of diamond films
    DEUERLER, F ; BUCK, V ; et al.
    In: Proceedings of the 6th International Conference on Plasma Surface Engineering, Garmisch-Partenkirchen, Germany, September 14-18, 1998, Jg. 116-19 (1999), S. 428-439
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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