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    Taking the multi-wavelength DBO to the next level of accuracy and robustness
    Jeon, Se-Ra ; Hwang, Chan ; et al.
    In: Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXXIV, 2020-03-20
    Online unknown
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    Wie komme ich dran?
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    Selection of DBO measurement wavelength for bottom mark asymmetry based on FDTD method
    Xu, Buqing ; Wu, Qiang ; et al.
    In: Journal of Semiconductors, Jg. 40 (2019-12-01), S. 122403-122403
    Online unknown
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    Wie komme ich dran?
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    On-product overlay enhancement using advanced litho-cluster control based on integrated metrology, ultra-small DBO targets and novel corrections
    Wu, Jon ; Fouquet, Christophe ; et al.
    In: SPIE Proceedings, 2013-04-10
    Online unknown
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    Enhancement of Diffraction-Based Overlay Model for Overlay Target With Asymmetric Sidewall
    Lin, Yu-Shin ; Su, Chun-Han ; et al.
    In: IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing, Jg. 33 (2020-08-01), S. 373-382
    Online unknown
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    Wie komme ich dran?
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    Fundamental understanding of the interplay between target and sensor brings diffraction based overlay to the next level of accuracy
    Arie Jeffrey Den Boef ; Davis Timothy Dugan ; et al.
    In: Metrology, Inspection, and Process Control for Semiconductor Manufacturing XXXV, 2021-10-15
    Online unknown
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    A study on diffraction-based overlay measurement based on FDTD method
    Rui, Chen ; Dong, Lisong ; et al.
    In: Metrology, Inspection, and Process Control for Semiconductor Manufacturing XXXV, 2021-02-22
    Online unknown
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    Novel diffraction based overlay metrology utilizing phase-based overlay for improved robustness
    Olson, Ping ; Reece, Jason ; et al.
    In: Metrology, Inspection, and Process Control for Semiconductor Manufacturing XXXV, 2021-02-22
    Online unknown
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    The mask contribution as part of the intra-field on-product overlay performance
    Leon van Dijk ; Hermans, Jan ; et al.
    In: Photomask Technology 2020, 2020-10-12
    Online unknown
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    A diffraction-based overlay model based on FDTD method
    Wei, Yayi ; Zou, Xiongfeng ; et al.
    In: Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXXIII, 2019-03-26
    Online unknown
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    Reducing the overlay metrology sensitivity to perturbations of the measurement stack
    Hans Van Der Laan ; Zhou, Yue ; et al.
    In: SPIE Proceedings, 2017-03-28
    Online unknown
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    Diffraction-based and image-based overlay evaluation for advanced technology node
    Qiaoli, Chen ; Zhi, Hui ; et al.
    In: 2017 China Semiconductor Technology International Conference (CSTIC), 2017-03-01
    Online unknown
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    A study of swing-curve physics in diffraction-based overlay
    Noot, Marc ; McNamara, Elliott ; et al.
    In: SPIE Proceedings, 2016-03-24
    Online unknown
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    Improving scanner wafer alignment performance by target optimization
    Leray, Philippe ; Menchtchikov, Boris ; et al.
    In: SPIE Proceedings, 2016-03-24
    Online unknown
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    Scatterometry or imaging overlay: a comparative study
    Yuan Chi Pai ; Kuo, Kelly T. L. ; et al.
    In: SPIE Proceedings, 2015-03-19
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    Hybrid overlay metrology with CDSEM in a BEOL patterning scheme
    Leray, Philippe ; Inoue, Osamu ; et al.
    In: SPIE Proceedings, 2015-03-19
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  16. Detailansicht für Treffer 16 öffnen
    Evaluating diffraction-based overlay
    Goelzer, Gary ; Smith, Nigel ; et al.
    In: SPIE Proceedings, 2012-03-29
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    Faster diffraction-based overlay measurements with smaller targets using 3D gratings
    Volkman, Catherine ; Liu, Yongdong ; et al.
    In: SPIE Proceedings, 2012-03-29
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  18. Detailansicht für Treffer 18 öffnen
    Overlay accuracy fundamentals
    Kandel, Daniel ; Amit, Eran ; et al.
    In: SPIE Proceedings, 2012-03-29
    Online unknown
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    Diffraction based overlay re-assessed
    Laidler, David ; Leray, Philippe ; et al.
    In: SPIE Proceedings, 2011-03-17
    Online unknown
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  20. Detailansicht für Treffer 20 öffnen
    Advancements of diffraction-based overlay metrology for double patterning
    Weher, Ulrich ; Li, Jie ; et al.
    In: SPIE Proceedings, 2011-03-17
    Online unknown
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    Wie komme ich dran?
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