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In: Journal of micromechanics and microengineering (Print), Jg. 16 (2006), Heft 11, S. 2281-2286Online academicJournalZugriff:
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In: Journal of micromechanics and microengineering (Print), Jg. 15 (2005), Heft 10, S. 1854-1863Online academicJournalZugriff: