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    CMOS integrated elliptic diaphragm capacitive pressure sensor in SiGe MEMS
    ANANIAH DURAI, SUNDARARAJAN ; REZAUL HASAN, S. M
    In: Microsystem technologies, Jg. 20 (2014), Heft 1, S. 145-155
    Online academicJournal
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    Electroplated nickel based micro-machined disk resonators for high frequency applications
    RITESH RAY, CHAUDHURI ; BHATTACHARYYA, Tarun K
    In: Microsystem technologies, Jg. 19 (2013), Heft 4, S. 525-535
    Online academicJournal
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    The monolithic integration system of bulk-Si sensors and actuators based on the Au―Au bonding technology
    CHUNHUA, CAI ; MING, QIN
    In: Microsystem technologies, Jg. 19 (2013), Heft 2, S. 195-201
    Online academicJournal
    Zugriff:
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  4. Detailansicht für Treffer 4 öffnen
    Fabrication of aluminium doped zinc oxide piezoelectric thin film on a silicon substrate for piezoelectric MEMS energy harvesters
    ALIZA AINI MD, RALIB ; ANIS NURASHIKIN, NORDIN ; et al.
    In: Special Issue on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS, 2011, Jg. 18 (2012), Heft 11, S. 1761-1769
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Full Text Finder (Volltext)
    Wie komme ich dran?
xs 0 - 576
sm 576 - 768
md 768 - 992
lg 992 - 1200
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