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  1. Detailansicht für Treffer 1 öffnen
    Characterization of 0.18-μm CMOS MEMS Capacitive Ultrasonic Sensors for Fast Photoacoustic Imaging.
    Shih, Yi-Chia ; Lu, Michael S. C.
    In: Procedia Engineering, Jg. 168 (2016-12-30), S. 713-716
    Online academicJournal
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    Micro-acoustic Source for Hearing Applications Fabricated with 0.35 μm CMOS-MEMS Process.
    Rufer, Libor ; De Pasquale, Giorgio ; et al.
    In: Procedia Engineering, 2015-12-15, S. 944-947
    Online academicJournal
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    A 3D FEM Model for Heat Transfer Mechanisms in Membrane Based Thermal Conductivity Sensors Developed Using SOI CMOS MEMS Technology.
    Sarfraz, Sohab ; Kumar, R. Vasant ; et al.
    In: Procedia Engineering, Jg. 87 (2014-12-18), S. 476-479
    Online academicJournal
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  4. Detailansicht für Treffer 4 öffnen
    SOI CMOS MEMS Infra-red Thermal Source with Carbon Nanotubes Coating.
    De Luca, A. ; Cole, M.T. ; et al.
    In: Procedia Engineering, Jg. 87 (2014-12-18), S. 839-842
    Online academicJournal
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    3D Multiphysics Modelling of an SOI CMOS MEMS Thermal Wall Shear Stress Sensor.
    Falco, C. ; De Luca, A. ; et al.
    In: Procedia Engineering, Jg. 87 (2014-12-18), S. 628-631
    Online academicJournal
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  6. Detailansicht für Treffer 6 öffnen
    Characterization of CMOS MEMS Capacitive Ultrasonic Sensors for Fast Photoacoustic Imaging.
    Kuo, Chin-An ; Lu, Michael S. C.
    In: Procedia Engineering, Jg. 87 (2014-12-18), S. 1119-1122
    Online academicJournal
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  7. Detailansicht für Treffer 7 öffnen
    Surface-micromachined Bragg Reflectors Based on Multiple Airgap/SiO2 Layers for CMOS-compatible Fabry-perot Filters in the UV-visible Spectral Range.
    Ghaderi, M. ; Ayerden, N.P. ; et al.
    In: Procedia Engineering, Jg. 87 (2014-12-18), S. 1533-1536
    Online academicJournal
    Zugriff:
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    A CMOS-MEMS Thermopile with an Integrated Temperature Sensing Diode for Mid-IR Thermometry.
    Hopper, R. ; Ali, S. ; et al.
    In: Procedia Engineering, Jg. 87 (2014-12-18), S. 1127-1130
    Online academicJournal
    Zugriff:
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    Improvement of PECVD Silicon-Germanium Crystallization for CMOS Compatible MEMS Applications.
    Guo, Bin ; Seven, Simone ; et al.
    In: Journal of The Electrochemical Society, Jg. 157 (2010-02-01), Heft 2, S. D103- (8S.)
    academicJournal
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  10. Detailansicht für Treffer 10 öffnen
    SU-8 thermo-compressive packaging for post-CMOS poly-SiGe MEMS.
    Wen, Lianggong ; Wouters, Kristof ; et al.
    In: Procedia Chemistry, Jg. 1 (2009-09-01), Heft 1, S. 1539-1542
    Online academicJournal
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  11. Detailansicht für Treffer 11 öffnen
    VHF band-pass filter based on a single CMOS-MEMS doubleended tuning fork resonator.
    Lopez, J.L. ; Verd, J. ; et al.
    In: Procedia Chemistry, Jg. 1 (2009-09-01), Heft 1, S. 1131-1134
    Online academicJournal
    Zugriff:
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  12. Detailansicht für Treffer 12 öffnen
    Low Voltage Acoustic Particle Velocity Sensor with Integrated Low Noise Chopper Pre-amplifier.
    Piotto, Massimo ; Butti, Federico ; et al.
    In: Procedia Engineering, Jg. 87 (2014-12-18), S. 736-739
    Online academicJournal
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  13. Detailansicht für Treffer 13 öffnen
    Complementary Metal Oxide Semiconductors Systems Integration.
    Saha, H. ; Chaudhuri, C. Roy
    In: Defence Science Journal, Jg. 59 (2009-11-01), Heft 6, S. 557-567
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext (PDF)
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  14. Detailansicht für Treffer 14 öffnen
    Monolithically Integrated Double-Ended Tuning Fork- Based Oscillator with Low Bias Voltage in Air Conditions.
    Lopez, J.L. ; Verd, J. ; et al.
    In: Procedia Chemistry, Jg. 1 (2009-09-01), Heft 1, S. 614-617
    Online academicJournal
    Zugriff:
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  15. Detailansicht für Treffer 15 öffnen
    MEMS Infrared Emitter and Detector for Capnography Applications.
    Chowdhury, M.F. ; Hopper, R. ; et al.
    In: Procedia Engineering, Jg. 168 (2016-12-30), S. 1204-1207
    Online academicJournal
    Zugriff:
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  16. Detailansicht für Treffer 16 öffnen
    Lorentz Force Magnetic Sensor based on a Thin-Film Piezoelectric-on-Silicon Laterally Vibrating Micromechanical Resonator.
    Ghosh, S. ; Lee, J.E.Y.
    In: Procedia Engineering, Jg. 168 (2016-12-30), S. 654-657
    Online academicJournal
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  17. Detailansicht für Treffer 17 öffnen
    Fabrication of Ultrathin Large-area Dielectric Membrane Stacks for use as Interference Filters.
    Ghaderi, M. ; de Graaf, G. ; et al.
    In: Procedia Engineering, Jg. 168 (2016-12-30), S. 1342-1345
    Online academicJournal
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  18. Detailansicht für Treffer 18 öffnen
    Process Variability Monitor for Embedded MEMS Inertial Sensors Exploiting Digital Calibration Coefficients.
    Hellwege, N. ; Heinssen, S. ; et al.
    In: Procedia Engineering, 2015-12-15, S. 637-640
    Online academicJournal
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  19. Detailansicht für Treffer 19 öffnen
    Contact Mode MEMS Position Sensors with Piezoresistive Detection.
    Todorov, V. ; Stavreva, G. ; et al.
    In: Procedia Engineering, Jg. 87 (2014-12-18), S. 1156-1159
    Online academicJournal
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  20. Detailansicht für Treffer 20 öffnen
    Modeling and Simulation Methodology Techniques for Advanced Low Power Communication Circuits.
    Krit, Salah-ddine ; Laassiri, Jalal ; et al.
    In: Proceedings of the World Congress on Engineering 2011 Volume I, 2011, S. 1475-1480
    Online Konferenz
    Zugriff:
    Volltext (PDF)
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