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    Considerations for an 8-inch Wafer-Level CMOS Compatible AlN Pyroelectric 5–14 μm Wavelength IR Detector Towards Miniature Integrated Photonics Gas Sensors
    Chung, Wing-Wai ; Cai, Hong ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 29 (2020-10-01), S. 1199-1207
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    A CMOS-Integrated MEMS Platform for Frequency Stable Resonators-Part I: Fabrication, Implementation, and Characterization
    Zope, Anurag A. ; Chen, Chao-Yu ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 28 (2019-10-01), S. 744-754
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    A CMOS-Integrated MEMS Platform for Frequency Stable Resonators—Part II: Design and Analysis
    Li, Cheng-Syun ; Li, Ming-Huang ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 28 (2019-10-01), S. 755-765
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    CMOS Compatible Hermetic Packages Based on Localized Fusion Bonding of Fused Silica
    Du, Lin ; Allen, Mark G.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 28 (2019-08-01), S. 656-665
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    CMOS-MEMS Micro-Mirror Arrays by Post-Processing ASMC 0.35- $\mu \text{m}$ CMOS Chips
    Toshiyoshi, Hiroshi ; Cheng, Zhengxi
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 26 (2017-12-01), S. 1435-1441
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    Monolithically Integrated CMOS-SMR Oscillator in 65 nm CMOS Using Custom MPW Die-Level Fabrication Process
    Kinget, Peter R. ; Colon-Berrios, Aida R. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 26 (2017-08-01), S. 846-858
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    Sidewall Metallization on CMOS MEMS by Platinum ALD Patterning
    Fedder, Gary K. ; Santhanam, Suresh ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 29 (2020-10-01), S. 978-983
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    Theoretical and Experimental Investigations of Thermoresistive Micro Calorimetric Flow Sensors Fabricated by CMOS MEMS Technology
    Gao, Bo ; Song, Kui ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 25 (2016-10-01), S. 954-962
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    3-D Integration of MEMS and CMOS Using Electroless Plated Nickel Through-MEMS-Vias
    Song, Zhen ; Yang, Sujie ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 25 (2016-08-01), S. 770-779
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    On-Chip CMOS-MEMS-Based Electroosmotic Flow Micropump Integrated With High-Voltage Generator
    Fujimoto, Koji ; Mita, Yoshio ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 29 (2020-02-01), S. 86-94
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    A Temperature-Stable Piezoelectric MEMS Oscillator Using a CMOS PLL Circuit for Temperature Sensing and Oven Control
    Rais-Zadeh, Mina ; Wu, Zhengzheng
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 24 (2015-12-01), S. 1747-1758
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    Resonant Body Transistors in IBM's 32 nm SOI CMOS Technology
    Weinstein, Dana ; Daniel, Luca ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 23 (2014-06-01), S. 636-650
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    In-Plane High-Sensitivity Capacitive Accelerometer in a 3-D CMOS-Compatible Surface Micromachining Process
    El-Gamal, Mourad N. ; Alfaifi, Ahmad ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 28 (2019-02-01), S. 14-24
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    A Three-Axis CMOS-MEMS Accelerometer Structure With Vertically Integrated Fully Differential Sensing Electrodes
    Tsai, Ming-Han ; Fang, Weileun ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 21 (2012-12-01), S. 1329-1337
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    A Multilevel CMOS–MEMS Design Methodology Based on Response Surface Models
    Sato, N ; Kaeslin, Hubert ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 20 (2011-06-01), S. 609-621
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    Modeling of Front-Etched Micromachined Thermopile IR Detector by CMOS Technology
    Xiong, Bin ; Xu, Dehui ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 19 (2010-12-01), S. 1331-1340
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    CMOS-Integrated RF MEMS Resonators
    Houston, Brian H. ; Zalalutdinov, Maxim ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 19 (2010-08-01), S. 807-815
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    Design and Fabrication of Monolithic Multidimensional Data Registration CMOS/MEMS Ink-Jet Printhead
    Huang, Chi-Ming ; Liou, Jian-Chiun ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 19 (2010-08-01), S. 961-972
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    Process Development for CMOS-MEMS Sensors With Robust Electrically Isolated Bulk Silicon Microstructures
    Qu, Hongwei ; Xie, Huikai
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 16 (2007-10-01), S. 1152-1161
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    Low-Stress CMOS-Compatible Silicon Carbide Surface-Micromachining Technology—Part II: Beam Resonators for MEMS Above IC
    Cicek, P-V ; El-Gamal, Mourad N. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 20 (2011-06-01), S. 730-744
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