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  1. Konishi, Toshifumi ; Machida, Katsuyuki ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 22 (2013-06-01), Heft 3, S. 755-767
    Online academicJournal
  2. Liou, Jian-Chiun ; Tseng, Fan-Gang ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 19 (2010-08-01), Heft 4, S. 961-972
    Online academicJournal
  3. Liou, Jian-Chiun ; Tseng, Fan-Gang ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 19 (2010-08-01), Heft 4, S. 961-972
    Online academicJournal
  4. Verd, Jaume ; Abadal, G. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 14 (2005-06-01), Heft 3, S. 508-519
    Online academicJournal
  5. Franke, Andrea E. ; Heck, John M. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 12 (2003-04-01), Heft 2, S. 160-171
    Online academicJournal
  6. Lee, Man ; Wong, Man ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 12 (2003-04-01), Heft 2, S. 138-146
    Online academicJournal
  7. Guerre, Roland ; Drechsler, Ute ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 17 (2008-02-01), Heft 1, S. 157-165
    Online academicJournal
  8. DeHennis, Andrew D. ; Wise, Kensall D.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 15 (2006-06-01), Heft 3, S. 678-685
    Online academicJournal
  9. Galambos, Paul ; Lantz, Jeffrey ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 20 (2011-10-01), Heft 5, S. 1150-1162
    Online academicJournal
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