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    Micromachined DC contact capacitive switch on low-resistivity silicon substrate
    Yu, A.B. ; Liu, A.Q. ; et al.
    In: Sensors & Actuators A: Physical, Jg. 127 (2006-02-28), Heft 1, S. 24-30
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    Improvement of isolation for MEMS capacitive switch via membrane planarization
    Yu, A.B. ; Liu, A.Q. ; et al.
    In: Sensors & Actuators A: Physical, Jg. 119 (2005-03-28), Heft 1, S. 206-213
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    A Novel Analytical Technique to design a Tunable Bandpass Filter with Constant Bandwidth.
    Gohari, Seyyed Amir ; Dousti, Massoud ; et al.
    In: AEU: International Journal of Electronics & Communications, Jg. 70 (2016-10-01), Heft 10, S. 1433-1442
    Online academicJournal
    Zugriff:
    View record from ScienceDirect (Volltext)
    Wie komme ich dran?
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    Tunable low-pass MEMS filter using defected ground structures (DGS).
    Guo, X.L. ; Xu, C. ; et al.
    In: Solid-State Electronics, Jg. 94 (2014-04-01), S. 28-31
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    Ku-band bandpass filters using novel micromachined substrate integrated waveguide structure with embedded silicon vias in benzocyclobutene dielectrics
    Hyeon, Ik-Jae ; Park, Woo-Young ; et al.
    In: Sensors & Actuators A: Physical, Jg. 188 (2012-12-01), S. 463-470
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    Miniature and tunable millimeter-wave lowpass filter with MEMS switch
    Guo, X.L. ; Jin, Y.
    In: Solid-State Electronics, Jg. 63 (2011-09-01), Heft 1, S. 145-148
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  7. Detailansicht für Treffer 7 öffnen
    Design and development of miniaturized low voltage triangular RF MEMS switch for phased array application.
    Gopalan, Anitha ; Kommuri, Usha Kiran
    In: Applied Surface Science, Jg. 449 (2018-08-15), S. 340-345
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    RF device package method using Au to Au direct bonding technology
    Kwon, Sangwook ; Kim, Jongseok ; et al.
    In: Microelectronics Reliability, Jg. 49 (2009), Heft 1, S. 99-102
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  9. Detailansicht für Treffer 9 öffnen
    Design and fabrication of a new micromachined interdigital coplanar waveguide
    Sun, Xiao-Feng ; Ding, Gui-Fu ; et al.
    In: Microelectronics Journal, Jg. 37 (2006-11-01), Heft 11, S. 1379-1383
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  10. Detailansicht für Treffer 10 öffnen
    Design and characterization of a tunable patch antenna loaded with capacitive MEMS switch using CSRRs structure on the patch.
    Saha, Rajesh ; Maity, Santanu ; et al.
    In: Alexandria Engineering Journal, Jg. 55 (2016-09-01), Heft 3, S. 2621-2630
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Full Text Finder (Volltext)
    Wie komme ich dran?
  11. Detailansicht für Treffer 11 öffnen
    A 50–100 GHz ohmic contact SPDT RF MEMS silicon switch with dual axis movement.
    Sim, Sung-min ; Lee, Yeonsu ; et al.
    In: Microelectronic Engineering, Jg. 162 (2016-08-16), S. 69-74
    academicJournal
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  12. Detailansicht für Treffer 12 öffnen
    Optimization of a microelectromechanical systems (MEMS) approach for miniaturized microcantilever-based RF microwave probes.
    Marzouk, Jaouad ; Arscott, Steve ; et al.
    In: Sensors & Actuators A: Physical, Jg. 238 (2016-02-01), S. 51-59
    academicJournal
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  13. Detailansicht für Treffer 13 öffnen
    A high dynamic range power sensor based on GaAs MMIC process and MEMS technology.
    Yi, Zhenxiang ; Liao, Xiaoping
    In: Solid-State Electronics, Jg. 115 (2016), S. 39-46
    academicJournal
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    U-shaped bimorph micro-electromechanical cantilevers with combined thermal/electrostatic actuation.
    Panaitov, Gregory ; Klein, Norbert ; et al.
    In: Microelectronic Engineering, Jg. 112 (2013-12-01), S. 126-129
    academicJournal
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  15. Detailansicht für Treffer 15 öffnen
    Parasitic leakage resonance-free HRS MEMS package for microwave and millimeter-wave
    Song, Yo-Tak ; Lee, Hai-Young ; et al.
    In: Sensors & Actuators: A. Physical, Jg. 130-131 (2006-08-14), S. 83-90
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  16. Detailansicht für Treffer 16 öffnen
    A lumped model with phase analysis for inline RF MEMS power sensor applications
    Zhang, Zhiqiang ; Liao, Xiaoping
    In: Sensors & Actuators A: Physical, Jg. 194 (2013-05-01), S. 204-211
    academicJournal
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  17. Detailansicht für Treffer 17 öffnen
    Design, fabrication and testing of wafer-level thin film vacuum packages for MEMS based on nanoporous alumina membranes
    Zekry, Joseph E.E. ; Tezcan, Deniz S. ; et al.
    In: Sensors & Actuators A: Physical, Jg. 189 (2013-01-15), S. 218-232
    academicJournal
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  18. Detailansicht für Treffer 18 öffnen
    A three-channel thermoelectric RF MEMS power sensor for GaAs MMIC applications
    Zhang, Zhiqiang ; Liao, Xiaoping
    In: Sensors & Actuators A: Physical, Jg. 182 (2012-08-01), S. 68-71
    academicJournal
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  19. Detailansicht für Treffer 19 öffnen
    Capacitive RF switches manufactured by the CMOS–MEMS technique
    Yang, Ming-Zhi ; Dai, Ching-Liang ; et al.
    In: Microelectronic Engineering, Jg. 88 (2011-08-01), Heft 8, S. 2242-2246
    academicJournal
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  20. Detailansicht für Treffer 20 öffnen
    Analysis and optimization of two movable plates RF MEMS switch for simultaneous improvement in actuation voltage and switching time
    Kundu, A. ; Sethi, S. ; et al.
    In: Microelectronics Journal, Jg. 41 (2010-05-01), Heft 5, S. 257-265
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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