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    Packaged CMOS–MEMS free–free beam oscillator.
    Marigó, E ; Verd, J ; et al.
    In: Journal of Micromechanics & Microengineering, Jg. 23 (2013-11-01), Heft 11, S. 115018-115027
    Online academicJournal
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    Pick-and-place process for sensitivity improvement of the capacitive type CMOS MEMS 2-axis tilt sensor.
    Chang, Chun-I ; Tsai, Ming-Han ; et al.
    In: Journal of Micromechanics & Microengineering, Jg. 23 (2013-09-01), Heft 9, S. 1-9
    Online academicJournal
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    Temperature-dependent yield effects on composite beams used in CMOS MEMS.
    Kuo, F. Y. ; Chang, C. S. ; et al.
    In: Journal of Micromechanics & Microengineering, Jg. 23 (2013-03-01), Heft 3, S. 1-8
    Online academicJournal
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    CMOS MEMS-based thermoelectric generator with an efficient heat dissipation path.
    Yu, Xiao ; Wang, Yuchen ; et al.
    In: Journal of Micromechanics & Microengineering, Jg. 22 (2012-10-01), Heft 10, S. 1-7
    Online academicJournal
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    Robust thermal control for CMOS-based lab-on-chip systems.
    Martinez-Quijada, Jose ; Ma, Tianchi ; et al.
    In: Journal of Micromechanics & Microengineering, Jg. 25 (2015-07-01), Heft 7, S. 1-1
    academicJournal
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    An optimal design of thermal-actuated and piezoresistive-sensed CMOS-MEMS resonant sensor.
    Wang, Chun-Chieh ; Tsai, Chun-Yin ; et al.
    In: Journal of Micromechanics & Microengineering, Jg. 23 (2013-11-01), Heft 11, S. 115015-115027
    Online academicJournal
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    Temperature-compensated CMOS-MEMS resonators via electrical stiffness frequency pulling.
    Liu, Jia-Ren ; Li, Wei-Chang
    In: Journal of Micromechanics & Microengineering, Jg. 30 (2020), Heft 1, S. 1-1
    academicJournal
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    Abnormal oxidation in nickel silicide and nickel germanosilicide in sub-micro CMOS.
    Tao, Wang ; Qing, Guo ; et al.
    In: Chinese Physics B, Jg. 21 (2012-06-01), Heft 6, S. 1-4
    academicJournal
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    A maskless etching technique for fabrication of 3D MEMS structures in SOI CMOS devices.
    Mansoor, Mohtashim ; Haneef, Ibraheem ; et al.
    In: Journal of Micromechanics & Microengineering, Jg. 28 (2018-08-01), Heft 8, S. 1-1
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    A monolithically integrated torsional CMOS-MEMS relay.
    Riverola, M ; Sobreviela, G ; et al.
    In: Journal of Micromechanics & Microengineering, Jg. 26 (2016-11-01), Heft 11, S. 1-1
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    A review of micromachined thermal accelerometers.
    Mukherjee, Rahul ; Basu, Joydeep ; et al.
    In: Journal of Micromechanics & Microengineering, Jg. 27 (2017-12-01), Heft 12, S. 1-1
    academicJournal
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    Electrostatically actuated all metal MEMS Pirani gauge with tunable dynamic range.
    Garg, Manu ; Arya, Dhairya Singh ; et al.
    In: Journal of Micromechanics & Microengineering, Jg. 34 (2024-02-01), Heft 2, S. 1-8
    academicJournal
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    Development of a CMOS MEMS pressure sensor with a mechanical force-displacement transduction structure.
    Cheng, Chao-Lin ; Chang, Heng-Chung ; et al.
    In: Journal of Micromechanics & Microengineering, Jg. 25 (2015-12-01), Heft 12, S. 1-1
    academicJournal
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  14. Detailansicht für Treffer 14 öffnen
    A CMOS–MEMS arrayed resonant-gate field effect transistor (RGFET) oscillator.
    Chin, Chi-Hang ; Li, Ming-Huang ; et al.
    In: Journal of Micromechanics & Microengineering, Jg. 25 (2015-11-01), Heft 11, S. 1-1
    academicJournal
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  15. Detailansicht für Treffer 15 öffnen
    Determining the thermal expansion coefficient of thin films for a CMOS MEMS process using test cantilevers.
    Cheng, Chao-Lin ; Fang, Weileun ; et al.
    In: Journal of Micromechanics & Microengineering, Jg. 25 (2015-02-01), Heft 2, S. 1-1
    academicJournal
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  16. Detailansicht für Treffer 16 öffnen
    A CMOS pressure sensor with integrated interface for passive RFID applications.
    Deng, Fangming ; He, Yigang ; et al.
    In: Measurement Science & Technology, Jg. 25 (2014-12-01), Heft 12, S. 1-1
    academicJournal
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  17. Detailansicht für Treffer 17 öffnen
    Post-CMOS selective electroplating technique for the improvement of CMOS-MEMS accelerometers.
    Liu, Chia ; Tsai, Han ; et al.
    In: Journal of Micromechanics & Microengineering, Jg. 21 (2011-10-01), Heft 10, S. 105005-105005
    Online academicJournal
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  18. Detailansicht für Treffer 18 öffnen
    Gas chemical sensitivity of a CMOS MEMS cantilever functionalized via evaporation driven assembly.
    Dorsey, K L ; Bedair, S S ; et al.
    In: Journal of Micromechanics & Microengineering, Jg. 24 (2014-07-01), Heft 7, S. 1-1
    academicJournal
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  19. Detailansicht für Treffer 19 öffnen
    Recent progress in nanoplasmonics-based integrated optical micro/nano-systems.
    Dong, Bowei ; Ma, Yiming ; et al.
    In: Journal of Physics D: Applied Physics, Jg. 53 (2020-05-20), Heft 21, S. 1-23
    academicJournal
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  20. Detailansicht für Treffer 20 öffnen
    AlN micromechanical radial-contour disc resonator.
    Wang, Gang ; Xu, Li-Xin ; et al.
    In: Journal of Micromechanics & Microengineering, Jg. 23 (2013-09-01), Heft 9, S. 1-11
    Online academicJournal
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