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    National Tsing Hua University Researcher Has Published New Data on Applied Physics (Multi-harmonic phononic frequency comb generation in capacitive CMOS-MEMS resonators)
    In: Physics Week, 2024-05-07, S. 87
    Zeitungsartikel
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    New Research on MEMS Technology from Shenzhen University Summarized (A Nanoscale Hot-Wire Flow Sensor Based on CMOS-MEMS Technology)
    In: Journal of Engineering, 2022-05-09, S. 1781
    Zeitungsartikel
    Wie komme ich dran?
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    A CMOS micromachined capacitive tactile sensor with high-frequency output
    Ko, Cheng-Ting ; Tseng, Sheng-Hsiang ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 15 (2006-12-01), Heft 6, S. 1708-1714
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
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    Design, fabrication, and characterization of a submicroelectromechanical resonator with monolithically integrated CMOS readout circuit
    Verd, Jaume ; Abadal, G. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 14 (2005-06-01), Heft 3, S. 508-519
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
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    A CMOS integrated three-axis accelerometer fabricated with commercial submicrometer CMOS technology and bulk-micromachining
    Takao, Hidekuni ; Fukumoto, Hirofumi ; et al.
    In: IEEE Transactions on Electron Devices, Jg. 48 (2001-09-01), Heft 9, S. 1961-1967
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
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    A CMOS-MEMS mirror with curled-hinge comb drives
    Xie, Huikai ; Pan, Yingtian ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 12 (2003-08-01), Heft 4, S. 450-457
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
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    A post-CMOS micromachined lateral accelerometer
    Luo, Hao ; Zhang, Gang ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 11 (2002-06-01), Heft 3, S. 188-195
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
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    Post-CMOS processing for high-aspect-ratio integrated silicon microstructures
    Xie, Huikai ; Erdmann, Lars ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 11 (2002-04-01), Heft 2, S. 93-101
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
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    Findings on Microelectromechanical Systems Discussed by Investigators at University of Pennsylvania (Cmos Compatible Hermetic Packages Based On Localized Fusion Bonding of Fused Silica)
    In: Nanotechnology Weekly, 2019-08-26, S. 256
    Zeitungsartikel
    Wie komme ich dran?
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    Findings from Hohai University Provides New Data about Science (Piezoresistive temperature sensors fabricated by a surface micromachining CMOS MEMS process)
    In: Science Letter, 2018-12-14, S. 841
    Zeitungsartikel
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    Research Conducted at Oakland University Has Updated Our Knowledge about Technology (CMOS MEMS Fabrication Technologies and Devices)
    In: Journal of Engineering, 2016-02-29, S. 1376
    Zeitungsartikel
    Wie komme ich dran?
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    Researchers from National Tsing Hua University Describe Findings in Microelectromechanical Systems (Monolithic CMOS-MEMS Pure Oxide Tri-Axis Accelerometers for Temperature Stabilization and Performance Enhancement)
    In: Nanotechnology Weekly, 2016-01-11, S. 1146
    Zeitungsartikel
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    Studies from Kaohsiung National University Describe New Findings in Engineering (Manufacturing and Characterization of a Thermoelectric Energy Harvester Using the CMOS-MEMS Technology)
    In: Journal of Engineering, 2015-11-30, S. 556
    Zeitungsartikel
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    Findings from McGill University Has Provided New Data on Sensor Research (Wide-temperature range CMOS capacitance to digital convertor for MEMS pressure sensors)
    In: Journal of Technology & Science, 2015-11-15, S. 157
    Zeitungsartikel
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    Findings on Microelectromechanical Systems Reported by Investigators at Northeastern University (High Resolution Magnetometer Based on a High Frequency Magnetoelectric MEMS-CMOS Oscillator)
    In: Nanotechnology Weekly, 2015-03-09, S. 635
    Zeitungsartikel
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    Towards a versatile DRIE: silicon pit structures combined with electrochemical etch stop
    Kurzawski, Petra ; Salo, Tomi ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 15 (2006-08-01), Heft 4, S. 840-848
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
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