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  1. ZHIXIANG, CAI ; XIANGYOU, LI ; et al.
    In: Microelectronics journal, Jg. 39 (2008), Heft 12, S. 1452-1456
    academicJournal
  2. SHIKIDA, Mitsuhiro ; ANDO, Masaki ; et al.
    In: Journal of micromechanics and microengineering (Print), Jg. 14 (2004), Heft 11, S. 1462-1467
    Online academicJournal
  3. DELADI, S ; BERENSCHOT, J. W ; et al.
    In: Journal of micromechanics and microengineering (Print), Jg. 15 (2005), Heft 3, S. 528-534
    Online academicJournal
  4. SHIKIDA, Mitsuhiro ; HASADA, Takehiko ; et al.
    In: Journal of micromechanics and microengineering (Print), Jg. 16 (2006), Heft 8, S. 1740-1747
    Online academicJournal
  5. BULLEN, David ; MING, ZHANG ; et al.
    In: Smart electronics, MEMS, and nanotechnology (San Diego CA, 18-20 March 2002), 2002, S. 288-295
    Konferenz
  6. MOLDOVAN, N ; KIM, K.-H ; et al.
    In: Journal of micromechanics and microengineering (Print), Jg. 16 (2006), Heft 10, S. 1935-1942
    Online academicJournal
  7. LEE, Taik-Min ; HUR, Shin ; et al.
    In: Journal of micromechanics and microengineering (Print), Jg. 20 (2010), Heft 1
    Online academicJournal
  8. BIN, XIAO ; TAO, DONG ; et al.
    In: Microsystem technologies, Jg. 17 (2011), Heft 1, S. 115-125
    Online academicJournal
  9. HAISHENG, SAN ; ZHIQIANG, DENG ; et al.
    In: Journal of micromechanics and microengineering (Print), Jg. 21 (2011), Heft 12
    Online academicJournal
  10. TAO, DONG ; QIANHUA, SU ; et al.
    In: Journal of micromechanics and microengineering (Print), Jg. 20 (2010), Heft 11
    Online academicJournal
  11. JIE, SONG ; XI, YANG ; et al.
    In: Journal of micromechanics and microengineering (Print), Jg. 19 (2009), Heft 4
    Online academicJournal
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