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    Micromachined high-performance RF passives in CMOS substrate.
    Li, Xinxin ; Ni, Zao ; et al.
    In: Journal of Micromechanics & Microengineering, Jg. 26 (2016-11-01), Heft 11, S. 1-1
    academicJournal
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    Monolithic integration of micromachined sensors and CMOS circuits based on SOI technologies.
    Yu, Xiaomei ; Tang, Yaquan ; et al.
    In: Journal of Micromechanics & Microengineering, Jg. 18 (2008-03-01), Heft 3, S. 37002-37002
    Online academicJournal
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    Polyimide as a versatile enabling material for microsystems fabrication: surface micromachining and electrodeposited nanowires integration.
    Walewyns, Thomas ; Reckinger, Nicolas ; et al.
    In: Journal of Micromechanics & Microengineering, Jg. 23 (2013-09-01), Heft 9, S. 1-12
    Online academicJournal
    Zugriff:
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  4. Detailansicht für Treffer 4 öffnen
    Fabrication of piezoelectric P(VDF-TrFE) microcantilevers by wafer-level surface micromachining.
    Roslyn Oh, Sharon ; Yao, Kui ; et al.
    In: Journal of Micromechanics & Microengineering, Jg. 23 (2013-09-01), Heft 9, S. 1-11
    Online academicJournal
    Zugriff:
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    A review of micromachined thermal accelerometers.
    Mukherjee, Rahul ; Basu, Joydeep ; et al.
    In: Journal of Micromechanics & Microengineering, Jg. 27 (2017-12-01), Heft 12, S. 1-1
    academicJournal
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    Robust micromachining of compliant mechanisms using silicides.
    Khosraviani, Kourosh ; M Leung, Albert
    In: Journal of Micromechanics & Microengineering, Jg. 23 (2013), Heft 1, S. 1-10
    Online academicJournal
    Zugriff:
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    Reliable characteristics and stabilization of on-membrane SOI MOSFET-based components heated up to 335 °C.
    Amor, S ; André, N ; et al.
    In: Semiconductor Science & Technology, Jg. 32 (2017), Heft 1, S. 1-1
    Online academicJournal
    Zugriff:
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    Low temperature CMUT fabrication process with dielectric lift-off membrane support for improved reliability.
    Pirouz, Amirabbas ; F Levent Degertekin
    In: Journal of Micromechanics & Microengineering, Jg. 28 (2018-08-01), Heft 8, S. 1-1
    academicJournal
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  9. Detailansicht für Treffer 9 öffnen
    Three techniques for the fabrication of high precision, mm-sized metal components based on two-photon lithography, applied for manufacturing horn antennas for THz transceivers.
    Standaert, Alexander ; Brancato, Luigi ; et al.
    In: Journal of Micromechanics & Microengineering, Jg. 28 (2018-03-01), Heft 3, S. 1-1
    academicJournal
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  10. Detailansicht für Treffer 10 öffnen
    Fabrication of capacitive micromachined ultrasonic transducers based on adhesive wafer bonding technique.
    Li, Zhenhao ; Lawrence L P Wong ; et al.
    In: Journal of Micromechanics & Microengineering, Jg. 26 (2016-11-01), Heft 11, S. 1-1
    academicJournal
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