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    A Reliable Liquid-Based CMOS MEMS Micro Thermal Convective Accelerometer With Enhanced Sensitivity and Limit of Detection.
    Wang, Xiaoyi ; Lee, Yi-Kuen ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 30 (2021-08-01), Heft 4, S. 506-512
    Online academicJournal
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    On-Chip CMOS-MEMS-Based Electroosmotic Flow Micropump Integrated With High-Voltage Generator.
    Okamoto, Yuki ; Ryoson, Hiroyuki ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 29 (2020-02-01), Heft 1, S. 86-94
    Online academicJournal
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    A CMOS-Integrated MEMS Platform for Frequency Stable Resonators—Part II: Design and Analysis.
    Chen, Chao-Yu ; Li, Ming-Huang ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 28 (2019-10-01), Heft 5, S. 755-765
    Online academicJournal
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    A CMOS-Integrated MEMS Platform for Frequency Stable Resonators-Part I: Fabrication, Implementation, and Characterization.
    Chen, Chao-Yu ; Li, Ming-Huang ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 28 (2019-10-01), Heft 5, S. 744-754
    Online academicJournal
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    Two-Dimensional CMOS MEMS Thermal Flow Sensor With High Sensitivity and Improved Accuracy.
    Xu, Wei ; Wang, Xiaoyi ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 29 (2020-04-01), Heft 2, S. 248-254
    Online academicJournal
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    Mitigating the Insufficient Etching Selectivity in the Wet Release Process of CMOS-MEMS Metal Resonators Via Diffusion Control.
    Hsu, Cheng-En ; Li, Wei-Chang
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 29 (2020-12-01), Heft 6, S. 1415-1417
    Online academicJournal
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    A CMOS-MEMS Thermoresistive Micro Calorimetric Flow Sensor With Temperature Compensation.
    Xu, Wei ; Ma, Shenhui ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 28 (2019-10-01), Heft 5, S. 841-849
    Online academicJournal
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    CMOS-MEMS Micro-Mirror Arrays by Post-Processing ASMC 0.35- \mu \textm CMOS Chips.
    Cheng, Zhengxi ; Toshiyoshi, Hiroshi
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 26 (2017-12-01), Heft 6, S. 1435-1441
    Online academicJournal
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    CMOS Neural Probe With 1600 Close-Packed Recording Sites and 32 Analog Output Channels.
    Sayed Herbawi, Abdalrahman ; Christ, Olaf ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 26 (2018-12-01), Heft 12, S. 1023-1034
    Online academicJournal
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    In-Plane High-Sensitivity Capacitive Accelerometer in a 3-D CMOS-Compatible Surface Micromachining Process.
    Alfaifi, Ahmad ; Alhomoudi, Ibrahim A. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 28 (2019-02-01), Heft 1, S. 14-24
    Online academicJournal
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    CMOS Closed-Loop Control of MEMS Varactors for Robust Ka-Band Tunable Filters.
    Asadi, Mohammad Javad ; Jin, Renfeng ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 28 (2019-10-01), Heft 5, S. 910-918
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    Curvature of BEOL Cantilevers in CMOS-MEMS Processes.
    Valle, Juan ; Fernandez, Daniel ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 26 (2017-08-01), Heft 4, S. 895-909
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    3-D Integration of MEMS and CMOS Using Electroless Plated Nickel Through-MEMS-Vias.
    Du, Yuxin ; Wu, Dong ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 25 (2016-08-01), Heft 4, S. 770-779
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    Experimental Analysis of Vapor HF Etch Rate and Its Wafer Level Uniformity on a CMOS-MEMS Process.
    Valle, Juan ; Fernandez, Daniel ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 25 (2016-04-01), Heft 2, S. 401-412
    Online academicJournal
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    Monolithic CMOS—MEMS Pure Oxide Tri-Axis Accelerometers for Temperature Stabilization and Performance Enhancement.
    Tsai, Ming-Han ; Liu, Yu-Chia ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 24 (2015-12-01), Heft 6, S. 1916-1927
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    A Monolithic CMOS-MEMS Oscillator Based on an Ultra-Low-Power Ovenized Micromechanical Resonator.
    Li, Ming-Huang ; Chen, Chao-Yu ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 24 (2015-04-01), Heft 2, S. 360-372
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    Development and Characterization of a CMOS-MEMS Accelerometer With Differential LC-Tank Oscillators.
    Chiu, Yi ; Hong, Hao-Chiao ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 22 (2013-12-01), Heft 6, S. 1285-1295
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    A Single-Platform Simulation and Design Technique for CMOS-MEMS Based on a Circuit Simulator With Hardware Description Language.
    Konishi, Toshifumi ; Machida, Katsuyuki ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 22 (2013-06-01), Heft 3, S. 755-767
    Online academicJournal
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