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    CMOS integrated poly-sigemems accelerometer above 0.18 µm technology
    Ray Chaudhuri, A. ; Helin, P. ; et al.
    In: 2015 Transducers - 2015 18th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (TRANSDUCERS), 2015-06-01, S. 11-14
    Konferenz
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    Integrated CMOS MEMS liquid capacitive inclinometer
    Chiu, Yi ; Chen, Bo-Ting ; et al.
    In: 2015 Transducers - 2015 18th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (TRANSDUCERS), 2015-06-01, S. 1152-1155
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    CMOS MEMS resonator oscillator with an on-chip boost DC/DC converter
    Tseng, S.H. ; Hsieh, Y.T. ; et al.
    In: 2015 Transducers - 2015 18th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (TRANSDUCERS), 2015-06-01, S. 1981-1984
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  4. Detailansicht für Treffer 4 öffnen
    Transduction comparison of a resonant transducer realized in a commercially available CMOS-MEMS platform
    Chen, Chao-Yu ; Li, Ming-Huang ; et al.
    In: 2015 Transducers - 2015 18th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (TRANSDUCERS), 2015-06-01, S. 145-148
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Versatile CMOS-MEMS integrated piezoelectric platform
    Tsai, J.M. ; Daneman, M. ; et al.
    In: 2015 Transducers - 2015 18th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (TRANSDUCERS), 2015-06-01, S. 2248-2251
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Improvement of CMOS-MEMS accelerometer using post-CMOS selective electroplating technique
    Liu, Yu-Chia ; Tsai, Ming-Han ; et al.
    In: 2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, 2011-06-01, S. 1002-1005
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Performance evaluation of CMOS-MEMS thermal-piezoresistive resonators in ambient pressure for sensor applications
    Chang, Jung-Hao ; Li, Cheng-Syun ; et al.
    In: 2015 Joint Conference of the IEEE International Frequency Control Symposium & the European Frequency and Time Forum, 2015-04-01, S. 202-204
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  8. Detailansicht für Treffer 8 öffnen
    Design and implementation of a novel CMOS MEMS condenser microphone with corrugated diaphragm
    Huang, Chien-Hsin ; Tsai, Ming-Han ; et al.
    In: 2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, 2011-06-01, S. 1026-1029
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Design and implementation of an extremely large proof-mass CMOS-MEMS capacitive tilt sensor for sensitivity and resolution improvement
    Chang, Chun-I ; Tsai, Ming-Han ; et al.
    In: 2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, 2011-06-01, S. 1104-1107
    Konferenz
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  10. Detailansicht für Treffer 10 öffnen
    Refined Si-CMOS-MEMS process using AOE, drie and preform bonding
    Fang, Y. J. ; Mukherjee, T. ; et al.
    In: 2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, 2011-06-01, S. 1380-1383
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  11. Detailansicht für Treffer 11 öffnen
    Active CMOS-MEMS conductive probes and arrays for tunneling-based atomic-level surface imaging
    Zhang, Y. ; Wang, J. ; et al.
    In: 2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, 2011-06-01, S. 2446-2449
    Konferenz
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  12. Detailansicht für Treffer 12 öffnen
    Reconfigurable 4-frequency CMOS oscillator based on AlN Contour-Mode MEMS resonators
    Rinaldi, Matteo ; Zuo, Chengjie ; et al.
    In: 2010 IEEE International Ultrasonics Symposium, 2010-10-01, S. 1494-1497
    Konferenz
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  13. Detailansicht für Treffer 13 öffnen
    A novel CMOS-compatible polysilicon/titanium thermopile
    Chen, Chung-Nan ; Huang, Wen-Chie ; et al.
    In: 2009 IEEE 3rd International Conference on Nano/Molecular Medicine and Engineering, 2009-10-01, S. 158-163
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  14. Detailansicht für Treffer 14 öffnen
    A Frenkel-Poole model of dielectric charging in CMOS MEMS
    Dorsey, K.L. ; Fedder, G.K.
    In: 2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, 2011-06-01, S. 823-826
    Konferenz
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  15. Detailansicht für Treffer 15 öffnen
    Switch-less dual-frequency reconfigurable CMOS oscillator using one single piezoelectric AlN MEMS resonator with co-existing S0 and S1 Lamb-wave modes
    Zuo, C. ; Van der Spiegel, J. ; et al.
    In: 2011 IEEE 24th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 2011, S. 177-180
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  16. Detailansicht für Treffer 16 öffnen
    Characterization of CMOS-MEMS resonator by pulsed mode electrostatic actuation
    Munoz-Gamarra, JL. ; Marigo, E. ; et al.
    In: 2010 IEEE International Frequency Control Symposium, 2010-06-01, S. 415-418
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  17. Detailansicht für Treffer 17 öffnen
    High-q integrated CMOS-MEMS resonators with deep-submicron gaps
    Chen, Wen-Chien ; Li, Ming-Huang ; et al.
    In: 2010 IEEE International Frequency Control Symposium, 2010-06-01, S. 340-343
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  18. Detailansicht für Treffer 18 öffnen
    Linear operation of a 11MHz CMOS-MEMS resonator
    Marigo, E ; Munoz-Gamarra, JL ; et al.
    In: 2010 IEEE International Frequency Control Symposium, 2010-06-01, S. 158-161
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  19. Detailansicht für Treffer 19 öffnen
    MEMS technology development and manufacturing in a CMOS foundry
    Liu, C.M. ; Chou, B.C.S. ; et al.
    In: 2011 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, 2011-06-01, S. 807-810
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  20. Detailansicht für Treffer 20 öffnen
    Cross-Hierarchical Design of Compact RF-MEMS Oscillator Circuits on a Silicon-Ceramic Composite Substrate
    Stegner, J. ; Gropp, S. ; et al.
    In: 2019 Joint Conference of the IEEE International Frequency Control Symposium and European Frequency and Time Forum (EFTF/IFC), 2019-04-01, S. 1-4
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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