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    Modeling of Front-Etched Micromachined Thermopile IR Detector by CMOS Technology
    DEHUI, XU ; BIN, XIONG ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 19 (2010), Heft 6, S. 1331-1340
    Online academicJournal
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    CMOS-MEMS Lateral Electrothermal Actuators
    GILGUNN, Peter J ; JINGWEI, LIU ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 17 (2008), Heft 1, S. 103-114
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
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    Process development for CMOS-MEMS sensors with robust electrically isolated bulk silicon microstructures
    HONGWEI, QU ; HUIKAI, XIE
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 16 (2007), Heft 5, S. 1152-1161
    Online academicJournal
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    Volltext
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    A CMOS micromachined capacitive tactile sensor with high-frequency output
    KO, Cheng-Ting ; TSENG, Sheng-Hsiang ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 15 (2006), Heft 6, S. 1708-1714
    Online academicJournal
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    Mechanics of Out-of-Plane MEMS via Postbuckling: Model-Experiment Demonstration Using CMOS
    FACHIN, Fabio ; NIKLES, Stefan A ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 21 (2012), Heft 3, S. 621-634
    Online academicJournal
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  6. Detailansicht für Treffer 6 öffnen
    Modeling and Characterization of CMOS-Fabricated Capacitive Micromachined Ultrasound Transducers
    DOODY, Christopher B ; XIAOYANG, CHENG ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 20 (2011), Heft 1, S. 104-118
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
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    Uncooled low-cost thermal imager based on micromachined CMOS integrated sensor array
    SCHAUFELBÜHL, Andri ; SCHNEEBERGER, N ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 10 (2001), Heft 4, S. 503-510
    Online academicJournal
    Zugriff:
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    Resonant magnetic field sensor with frequency output
    SUNIER, Robert ; VANCURA, Tobias ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 15 (2006), Heft 5, S. 1098-1107
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
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    Porous Silicon in a Semiconductor Manufacturing Environment
    BOEHRINGER, Matthias ; ARTMANN, Hans ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 21 (2012), Heft 6, S. 1375-1381
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
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  10. Detailansicht für Treffer 10 öffnen
    MgO sacrificial layer for micromachining uncooled Y-Ba-Cu-O IR microbolometers on Si3N4 bridges
    GRAY, J. E ; CELIK-BUTLER, Z ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 8 (1999), Heft 2, S. 192-199
    Online academicJournal
    Zugriff:
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  11. Detailansicht für Treffer 11 öffnen
    Optimal design and noise consideration of micromachined vibrating rate gyroscope with modulated integrative differential optical sensing
    DEGANI, O ; SETER, D. J ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 7 (1998), Heft 3, S. 329-338
    Online academicJournal
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    Volltext
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  12. Detailansicht für Treffer 12 öffnen
    Thin-Film Piezoelectric MEMS Transducer Suitable for Middle-Ear Audio Prostheses
    CAMPANELLA, Humberto ; CAMARGO, Carlos J ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 21 (2012), Heft 6, S. 1452-1463
    Online academicJournal
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  13. Detailansicht für Treffer 13 öffnen
    Aluminum Nitride Ultrasonic Air-Coupled Actuator
    GRIFFIN, Benjamin A ; WILLIAMS, Matthew D ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 20 (2011), Heft 2, S. 476-486
    Online academicJournal
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  14. Detailansicht für Treffer 14 öffnen
    Influence of Etching Potential on Convex Corner Anisotropic Etching in TMAH Solution
    BAGOLINI, Alvise ; FAES, Alessandro ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 19 (2010), Heft 5, S. 1254-1259
    Online academicJournal
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  15. Detailansicht für Treffer 15 öffnen
    Surface micromachined polyimide scanning thermocouple probes
    LI, Mo-Huang ; WU, Julius J ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 10 (2001), Heft 1, S. 3-9
    Online academicJournal
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  16. Detailansicht für Treffer 16 öffnen
    Self-supporting uncooled infrared microbolometers with low-thermal mass
    ALMASRI, Mahmoud ; BUTLER, Donald P ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 10 (2001), Heft 3, S. 469-476
    Online academicJournal
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    Thermal characterization of surface-micromachined silicon nitride membranes for thermal infrared detectors
    ERIKSSON, P ; ANDERSSON, J. Y ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 6 (1997), Heft 1, S. 55-61
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
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