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    Micromachined elevated CPWs for high-performance microwave circuits
    Kim, Yong-Jun ; Yook, Jong-Gwan ; et al.
    In: Journal of Micromechanics and Microengineering, Jg. 16 (2006-10-27), S. 2598-2602
    Online unknown
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    A novel meandered coplanar waveguide for RF microelectromechanical systems
    Li, Binhong ; Sun, Xiaofeng ; et al.
    In: Journal of Micromechanics and Microengineering, Jg. 17 (2007-07-18), S. 1628-1631
    Online unknown
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    CMOS-compatible micromachining techniques for fabricating high-performance edge-suspended RF/microwave passive components on silicon substrates
    Wai Cheong Hon ; Zhang, Jinwen ; et al.
    In: Journal of Micromechanics and Microengineering, Jg. 15 (2004-11-25), S. 328-335
    Online unknown
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    Pneumatic RF MEMS switch using a liquid metal droplet
    Park, Usung ; Choi, Inho ; et al.
    In: Journal of Micromechanics and Microengineering, Jg. 23 (2013-03-25), S. 055006-55006
    Online unknown
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    Microwave dielectric heating of fluids in an integrated microfluidic device
    Gaitan, Michael ; Rao, Mulpuri V. ; et al.
    In: Journal of Micromechanics and Microengineering, Jg. 17 (2007-10-03), S. 2224-2230
    Online unknown
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  6. Detailansicht für Treffer 6 öffnen
    Mechanical and electrical characterization of BCB as a bond and seal material for cavities housing (RF-)MEMS devices
    I. De Wolf ; Jourdain, Anne ; et al.
    In: Journal of Micromechanics and Microengineering, Jg. 15 (2005-06-20), S. S89- (8S.)
    Online unknown
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  7. Detailansicht für Treffer 7 öffnen
    Permittivity measurements up to 30 GHz using micromachined probe
    Kwon, Youngwoo ; Cheon, Changyul ; et al.
    In: Journal of Micromechanics and Microengineering, Jg. 15 (2004-12-24), S. 543-550
    Online unknown
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    Wie komme ich dran?
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sm 576 - 768
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