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    Reconfigurable millimeter-wave filters using CPW-based periodic structures with novel multiple-contact MEMS switches
    PARK, Jae-Hyoung ; LEE, Sanghyo ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 14 (2005), Heft 3, S. 456-463
    Online academicJournal
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    RF-MEMS capacitive switches fabricated using printed circuit processing techniques
    RAMADOSS, Ramesh ; LEE, Simone ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 15 (2006), Heft 6, S. 1595-1604
    Online academicJournal
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    Skin-effect self-heating in air-suspended RF MEMS transmission-line structures
    CHOW, Linda L. W ; ZHONGDE, WANG ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 15 (2006), Heft 6, S. 1622-1631
    Online academicJournal
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    Elastomer-Based Pneumatic Switch for Radio Frequency Microdevices
    SHAH, Charan M ; SRIRAM, Sharath ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 21 (2012), Heft 6, S. 1410-1417
    Online academicJournal
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    Electrochemically Assisted Maskless Selective Removal of Metal Layers for Three-Dimensional Micromachined SOI RF MEMS Transmission Lines and Devices
    STERNER, Mikael ; ROXHED, Niclas ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 20 (2011), Heft 4, S. 899-908
    Online academicJournal
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  6. Detailansicht für Treffer 6 öffnen
    A Novel Micromachining Process Using DRIE, Thermal Oxidation, Electroplating, and Planarization to Create High Aspect Ratio Coplanar Waveguides
    TODD, Shane T ; HUANG, Xiaojun T ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 19 (2010), Heft 1, S. 55-63
    Online academicJournal
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    A MEMS reconfigurable DGS resonator for K-band applications
    HAMAD, Ehab K. I ; SAFWAT, Amr M. E ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 15 (2006), Heft 4, S. 756-762
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
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  8. Detailansicht für Treffer 8 öffnen
    Packaging-Test-Fixture for In-Line Coupling RF MEMS Power Sensors
    ZHIQIANG, ZHANG ; XIAOPING, LIAO
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 20 (2011), Heft 6, S. 1231-1233
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
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