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    Fabrication techniques to realize CMOS-compatible microfluidic microchannels
    Gaitan, Michael ; Zaghloul, Mona ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 10 (2001-06-01), S. 286-297
    Online unknown
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    A micro active probe device compatible with SOI-CMOS technologies
    Yi, Y.-W. ; Kondoh, Y. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 6 (1997), S. 242-248
    Online unknown
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    Planar cmos compatible process for the fabrication of buried microchannels in silicon, using porous-silicon technology
    Pagonis, D. N. ; Kaltsas, Grigoris ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 12 (2003-12-01), S. 863-872
    Online unknown
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    Three-Dimensional Self-Assembled Sensors in Thin-Film SOI Technology
    André, Nicolas ; Pardoen, Thomas ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 15 (2006-12-01), S. 1687-1697
    Online unknown
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    High-Performance Inductors Using Capillary Based Fluidic Self-Assembly
    Scott, K.L. ; Singh, H. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 13 (2004-04-01), S. 300-309
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    Principles of Meniscus-Based MEMS Gas or Liquid Pressure Sensors
    Hohimer, Cameron J. ; Christ, J. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 22 (2013-06-01), S. 670-677
    Online unknown
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    PHET, an electrodeless photovoltaic electrochemical etchstop technique
    Puers, Robert ; Sansen, Willy ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 3 (1994), S. 113-123
    Online unknown
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    Wie komme ich dran?
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sm 576 - 768
md 768 - 992
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