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  1. FEDYNYSHYN, T. H ; DORAN, S. P ; et al.
    In: 19th annual symposium on photomask technology (Monterey CA, 15-17 September 1999), 1999, S. 600-614
    Konferenz
  2. OBERLANDER, J ; GONZALEZ, E
    In: Advances in resist technology and processing XV (Santa Clara CA, 23-25 February 1998), 1998, S. 1115-1123
    Konferenz
  3. NICOLAU, D. V ; YOSHIKAWA, S ; et al.
    In: Device and process technologies for MEMS and microelectronics (Royal Pines Resort, 27-29 October 1999), 1999, S. 274-281
    Konferenz
  4. HENDERSON, C. L ; SCHEER, S. A ; et al.
    In: Advances in resist technology and processing XV (Santa Clara CA, 23-25 February 1998), 1998, S. 256-267
    Konferenz
  5. RATHSACK, B. M ; TABERY, C. E ; et al.
    In: 19th annual symposium on photomask technology (Monterey CA, 15-17 September 1999), 1999, S. 80-92
    Konferenz
  6. JHA, S ; REISER, A
    In: Advances in resist technology and processing XV (Santa Clara CA, 23-25 February 1998), 1998, S. 376-383
    Konferenz
  7. MISUMI, Koichi ; SAITO, Koji ; et al.
    In: Advances in resist technology and processing XXII (San Jose CA, 28 February - 2 March 2005), 2005
    Konferenz
  8. FLACK, Warren W ; NGUYEN, Ha-Ai ; et al.
    In: Advances in resist technology and processing XXII (San Jose CA, 28 February - 2 March 2005), 2005
    Konferenz
  9. GUO, YONGKANG ; TANG, XIONGGUI ; et al.
    In: Advanced characterization techniques for optics, semiconductors, and nanotechnologies II (2-4 August 2005, San Diego, California, USA), 2005, S. 58781G.1
    Konferenz
  10. ROBERTSON, Stewart ; MACK, Chris ; et al.
    In: Lithography for semiconductor manufacturing II (Edinburgh, 30 May - 1 June 2001), 2001, S. 111-122
    Konferenz
  11. SENSU, Yoshihisa ; SEKIGUCHI, Atsushi ; et al.
    In: Advances in resist technology and processing XVIII (Santa Clara CA, 26-28 February 2001), 2001, S. 921-935
    Konferenz
  12. LEHAR, Octavia P ; SPAK, Mark ; et al.
    In: Advances in resist technology and processing XVIII (Santa Clara CA, 26-28 February 2001), 2001, S. 463-474
    Konferenz
  13. MONTGOMERY, Warren ; BUXBAUM, Alex ; et al.
    In: Advances in resist technology and processing XVIII (Santa Clara CA, 26-28 February 2001), 2001, S. 673-679
    Konferenz
  14. SAUER, C
    In: Lithography for semiconductor manufacturing (Edinburgh, 19-21 May 1999), 1999, S. 116-130
    Konferenz
  15. DEAN, R ; ALEXANDER, D ; et al.
    In: 15th European conference on mask technology for integrated circuits and microcomponenets '98 (Munich-Unterhaching, 16-17 November 1998), 1999, S. 166-178
    Konferenz
  16. ERDMANN, A ; HENDERSON, C. L ; et al.
    In: Advances in resist technology and processing XV (Santa Clara CA, 23-25 February 1998), 1998, S. 1201-1211
    Konferenz
  17. YOON, J.-B ; HAN, C.-H ; et al.
    In: Materials and device characterization in micromachining (Santa Clara CA, 21-22 September 1998), 1998, S. 316-325
    Konferenz
  18. JAGANNATHAN, P ; DEWAN, C ; et al.
    In: Advances in resist technology and processing XV (Santa Clara CA, 23-25 February 1998), 1998, S. 1258-1270
    Konferenz
  19. COOK, M. M ; RAHMAN, M. D ; et al.
    In: Advances in resist technology and processing XV (Santa Clara CA, 23-25 February 1998), 1998, S. 1180-1188
    Konferenz
  20. TOUKHY, M ; MALIK, S ; et al.
    In: Advances in resist technology and processing XV (Santa Clara CA, 23-25 February 1998), 1998, S. 1212-1217
    Konferenz
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