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    Electro-Thermally Actuated Non-Volatile Mechanical Memory With CMOS-Level Operation Voltage and Low Contact Resistance
    Yoon, Jun-Bo ; Pan Kyu Choi ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 31 (2022-02-01), S. 87-96
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    Considerations for an 8-inch Wafer-Level CMOS Compatible AlN Pyroelectric 5–14 μm Wavelength IR Detector Towards Miniature Integrated Photonics Gas Sensors
    Chung, Wing-Wai ; Cai, Hong ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 29 (2020-10-01), S. 1199-1207
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    Comparison of Conventional and Maskless Lithographic Techniques for More than Moore Post-Processing of Foundry CMOS Chips
    Li, Yifan ; Tsiamis, Andreas ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 29 (2020-10-01), S. 1245-1252
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    A CMOS-Integrated MEMS Platform for Frequency Stable Resonators-Part I: Fabrication, Implementation, and Characterization
    Zope, Anurag A. ; Chen, Chao-Yu ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 28 (2019-10-01), S. 744-754
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    A CMOS-Integrated MEMS Platform for Frequency Stable Resonators—Part II: Design and Analysis
    Li, Cheng-Syun ; Li, Ming-Huang ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 28 (2019-10-01), S. 755-765
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    CMOS Compatible Hermetic Packages Based on Localized Fusion Bonding of Fused Silica
    Du, Lin ; Allen, Mark G.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 28 (2019-08-01), S. 656-665
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    A CMOS-MEMS Thermoresistive Micro Calorimetric Flow Sensor With Temperature Compensation
    Chiu, Yi ; Xu, Wei ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 28 (2019-10-01), S. 841-849
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    CMOS Closed-Loop Control of MEMS Varactors for Robust Ka -Band Tunable Filters
    Scarbrough, Derek ; Jin, Renfeng ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 28 (2019-10-01), S. 910-918
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    CMOS-MEMS Micro-Mirror Arrays by Post-Processing ASMC 0.35- $\mu \text{m}$ CMOS Chips
    Toshiyoshi, Hiroshi ; Cheng, Zhengxi
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 26 (2017-12-01), S. 1435-1441
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    A Reliable Liquid-Based CMOS MEMS Micro Thermal Convective Accelerometer With Enhanced Sensitivity and Limit of Detection
    Lee, Yi-Kuen ; Xu, Wei ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 30 (2021-08-01), S. 506-512
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    Sidewall Metallization on CMOS MEMS by Platinum ALD Patterning
    Fedder, Gary K. ; Santhanam, Suresh ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 29 (2020-10-01), S. 978-983
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    Theoretical and Experimental Investigations of Thermoresistive Micro Calorimetric Flow Sensors Fabricated by CMOS MEMS Technology
    Gao, Bo ; Song, Kui ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 25 (2016-10-01), S. 954-962
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    3-D Integration of MEMS and CMOS Using Electroless Plated Nickel Through-MEMS-Vias
    Song, Zhen ; Yang, Sujie ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 25 (2016-08-01), S. 770-779
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    Mitigating the Insufficient Etching Selectivity in the Wet Release Process of CMOS-MEMS Metal Resonators Via Diffusion Control
    Li, Wei-Chang ; Hsu, Cheng-En
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 29 (2020-12-01), S. 1415-1417
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    On-Chip CMOS-MEMS-Based Electroosmotic Flow Micropump Integrated With High-Voltage Generator
    Fujimoto, Koji ; Mita, Yoshio ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 29 (2020-02-01), S. 86-94
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    A Temperature-Stable Piezoelectric MEMS Oscillator Using a CMOS PLL Circuit for Temperature Sensing and Oven Control
    Rais-Zadeh, Mina ; Wu, Zhengzheng
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 24 (2015-12-01), S. 1747-1758
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    Resonant Body Transistors in IBM's 32 nm SOI CMOS Technology
    Weinstein, Dana ; Daniel, Luca ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 23 (2014-06-01), S. 636-650
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    In-Plane High-Sensitivity Capacitive Accelerometer in a 3-D CMOS-Compatible Surface Micromachining Process
    El-Gamal, Mourad N. ; Alfaifi, Ahmad ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 28 (2019-02-01), S. 14-24
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    Development and Characterization of a CMOS-MEMS Accelerometer With Differential LC-Tank Oscillators
    Hong, Hao-Chiao ; Wu, Po-Chih ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 22 (2013-12-01), S. 1285-1295
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    Differentially Piezoresistive Sensing for CMOS-MEMS Resonators
    Chin, Chi-Hang ; Li, Ming-Huang ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 22 (2013-12-01), S. 1361-1372
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