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    Particle growth and transport in silane plasma chemical vapour deposition
    Kim, Kyo-Seon ; Ikegawa, Masato
    In: Plasma Sources Science and Technology, Jg. 5 (1996-05-01), S. 311-322
    Online unknown
    Zugriff:
    View record in OpenAIRE (Volltext)
    Wie komme ich dran?
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    Effects of Gas Flow on Particle Growth in Silane RF Discharges
    Shiratani, Masaharu ; Kim, Kyo-Seon ; et al.
    In: Japanese Journal of Applied Physics, Jg. 38 (1999-07-01), S. 4556-4556
    Online unknown
    Zugriff:
    View record in OpenAIRE (Volltext)
    Wie komme ich dran?
xs 0 - 576
sm 576 - 768
md 768 - 992
lg 992 - 1200
xl 1200 - 1366
xxl 1366 -