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    Two-dimensional particle-in-cell plasma immersion ion implantation simulation of gear/windmill geometry in cylindrical co-ordinates along the (r-theta) plane : Plasma-based ion implantation
    Kwok, D. T. K. ; Fu, R. K. Y. ; et al.
    In: SURFACE AND COATINGS TECHNOLOGY, Jg. 156 (2002), Heft NOS 1-3, S. 97-102
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    In vivo study of Ti-O thin film fabricated by PIII : Plasma-based ion implantation
    Yang, P. ; Huang, N. ; et al.
    In: SURFACE AND COATINGS TECHNOLOGY, Jg. 156 (2002), Heft NOS 1-3, S. 284-288
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Effects of nitrogen and argon plasma-immersion ion implantation on silicon and its oxidation : Plasma-based ion implantation
    Chu, P. K.
    In: SURFACE AND COATINGS TECHNOLOGY, Jg. 156 (2002), Heft NOS 1-3, S. 253-257
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Contamination issues in hydrogen plasma immersion ion implantation of silicon-a brief review : Plasma-based ion implantation
    Chu, P. K.
    In: SURFACE AND COATINGS TECHNOLOGY, Jg. 156 (2002), Heft NOS 1-3, S. 244-252
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Deformation behavior of titanium nitride film prepared by plasma immersion ion implantation and deposition : Plasma-based ion implantation
    Huang, N. ; Wan, G. J. ; et al.
    In: SURFACE AND COATINGS TECHNOLOGY, Jg. 156 (2002), Heft NOS 1-3, S. 170-175
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Controlling synthesis of Ti-O/Ti-N gradient films by PIII : Plasma-based ion implantation
    Wen, F. ; Dai, H. ; et al.
    In: SURFACE AND COATINGS TECHNOLOGY, Jg. 156 (2002), Heft NOS 1-3, S. 208-213
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Energy distribution and depth profile in BF~3 plasma doping : Plasma-based ion implantation; (PBII-99)
    Kwok, D. T. K. ; Chu, P. K. ; et al.
    In: SURFACE AND COATINGS TECHNOLOGY, Jg. 136 (2001), Heft NOS 1-3, S. 146-150
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Applications of plasma immersion ion implantation in microelectronics - a brief review : Plasma-based ion implantation; (PBII-99)
    Chu, P. K. ; Chan, C.
    In: SURFACE AND COATINGS TECHNOLOGY, Jg. 136 (2001), Heft NOS 1-3, S. 151-156
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Preparation of gallium nitride (GaN) and related compounds by plasma immersion ion implantation and rapid thermal annealing : Plasma-based ion implantation; (PBII-99)
    Ho, A. H. P. ; Kwok, D. T. K. ; et al.
    In: SURFACE AND COATINGS TECHNOLOGY, Jg. 136 (2001), Heft NOS 1-3, S. 142-145
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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