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In: Journal of Micromechanics & Microengineering, Jg. 21 (2011-10-01), Heft 10, S. 105005-105005Online academicJournalZugriff:
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In: Journal of Micromechanics & Microengineering, Jg. 23 (2013-09-01), Heft 9, S. 1-11Online academicJournalZugriff: