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In: Applied Physics Letters, Jg. 106 (2015-03-09), Heft 10, S. 1-4Online academicJournalZugriff:
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In: Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics & Nanometer Structures, Jg. 26 (2008-05-01), Heft 3, S. 1171-1173academicJournalZugriff:
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In: Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics & Nanometer Structures, Jg. 26 (2008-05-01), Heft 3, S. 1171-1173academicJournalZugriff:
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In: AIP Conference Proceedings, Jg. 1566 (2013-12-04), Heft 1, S. 457-458KonferenzZugriff: