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  1. HONER, Kenneth A ; KOVACS, Gregory T. A
    In: Selected papers from the Technical Digest of the 2000 Solid-State Sensors and Actuators Workshop, Hilton Head Island, SC, USA, 4-8 June, Jg. 91 (2001), Heft 3, S. 386-397
    Konferenz
  2. FERRI, G ; DE LAURENTIIS, P ; et al.
    In: Selected papers from Eurosensors XIV, Copenhagen, Denmark, 27-30 August 2000, Jg. 92 (2001), Heft 1-3, S. 263-272
    Konferenz
  3. DAI, Ching-Liang ; KAO, Pin-Hsu ; et al.
    In: Microelectronics journal, Jg. 39 (2008), Heft 5, S. 744-749
    academicJournal
  4. MÜLLER, T ; BRANDL, M ; et al.
    In: Sensors and actuators. A, Physical, Jg. 84 (2000), Heft 1-2, S. 126-133
    Online academicJournal
  5. HAFIZOVIC, S ; PAUL, O
    In: Transducers'01 Eurosensors XV, Munich, Germany, 10-14 June 2001, Jg. 97-98 (2002), S. 246-252
    Konferenz
  6. CHI, D. Z ; LEE, R. T. P ; et al.
    In: Asia-Pacific Conference on Semiconducting Silicides Science and Technology Towards Sustainable Optoelectronics (APAC-SILICIDE 2006), July 29-31, Jg. 515 (2007), Heft 22, S. 8102-8108
    Konferenz
  7. BEROULLE, Vincent ; BERTRAND, Yves ; et al.
    In: Micromechanics section of sensors and actuators (MEMS - 2002), Jg. 103 (2003), Heft 1-2, S. 23-32
    Konferenz
  8. KASTEN, Klaus ; KORDAS, Norbert ; et al.
    In: Transducers'01 Eurosensors XV, Munich, Germany, 10-14 June 2001, Jg. 97-98 (2002), S. 83-87
    Konferenz
  9. SCHURIG, Enrico ; DEMIERRE, Michel ; et al.
    In: Transducers'01 Eurosensors XV, Munich, Germany, 10-14 June 2001, Jg. 97-98 (2002), S. 47-53
    Konferenz
  10. PATIL, Samadhan B ; VAIRAGAR, Anand V ; et al.
    In: Proceedings of the Second International Conference on Cat-CVD (Hot Wire CVD) Process, Denver, Colorado, USA, September 10-13, 2002, Jg. 430 (2003), Heft 1-2, S. 63-66
    Konferenz
  11. DAVIS, Z. J ; ABADAL, G ; et al.
    In: Sensors and actuators. A, Physical, Jg. 105 (2003), Heft 3, S. 311-319
    academicJournal
  12. FEDDER, G. K ; SANTHANAM, S ; et al.
    In: Sensors and actuators. A, Physical, Jg. 57 (1996), Heft 2, S. 103-110
    Online academicJournal
  13. FISCHER, M ; NAGELE, M ; et al.
    In: Sensors and actuators. A, Physical, Jg. 52 (1996), Heft 1-3, S. 140-144
    Online academicJournal
  14. KLAASSEN, E. H ; REAY, R. J ; et al.
    In: Sensors and actuators. A, Physical, Jg. 52 (1996), Heft 1-3, S. 33-40
    Online academicJournal
  15. MICHAELIS, S ; TIMME, H.-J ; et al.
    In: Proceedings of Eurosensors XIII, The Hague, Jg. 85 (2000), Heft 1-3, S. 418-423
    Online Konferenz
  16. SEDKY, Sherif ; WITVROUW, Ann ; et al.
    In: Transducers'01 Eurosensors XV, Munich, Germany, 10-14 June 2001, Jg. 97-98 (2002), S. 503-511
    Konferenz
  17. MO, Yaowu ; OKAWA, Yuzo ; et al.
    In: Sensors and actuators. A, Physical, Jg. 100 (2002), Heft 1, S. 94-101
    academicJournal
  18. FRULEUX-CORNU, Frédérique ; PENAUD, Julien ; et al.
    In: Proceedings of the 31st International Conference on Micro- and Nano-Engineering: 19-22 September 2005, Vienna, Austria, Jg. 83 (2006), Heft 4-9, S. 776-779
    Konferenz
  19. DAVIS, Z. J ; ABADAL, G ; et al.
    In: SPM 2002: Proceedings of the Fourth International Conference on Scanning Probe Microscopy, Sensors and Nanostructures, Las Vegas, Nevada, USA, May 26-29, Jg. 97 (2003), Heft 1-4, S. 467-472
    Konferenz
  20. IORDANOV, V. P ; LUBKING, G. W ; et al.
    In: Transducers'01 Eurosensors XV, Munich, Germany, 10-14 June 2001, Jg. 97-98 (2002), S. 161-166
    Konferenz
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