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  1. Shi, Xuelong ; Yan, Yan ; et al.
    In: 2020 International Workshop on Advanced Patterning Solutions (IWAPS), 2020-11-05, S. 1-3
    Konferenz
  2. HUNG, Chi-Yuan ; BIN, ZHANG ; et al.
    In: Optical microlithography XIX (21-24 February 2006, San Jose, California, USA), 2006
    Konferenz
  3. LINYONG, PANG ; YONG, LIU ; et al.
    In: Photomask and next-generation lithography mask technology XIII (18-20 April, 2006, Yokohama, Japan), 2006
    Konferenz
  4. MARTIN, Patrick M ; PROGLER, C. J ; et al.
    In: 25th annual BACUS symposium on photomask technology (4-7 October, 2006, Monterey, California, USA), 2005
    Konferenz
  5. LINYONG, PANG ; SHAMMA, Nader ; et al.
    In: 25th annual BACUS symposium on photomask technology (4-7 October, 2006, Monterey, California, USA), 2005
    Konferenz
  6. HUNG, Chi-Yuan ; BIN, ZHANG ; et al.
    In: 25th annual BACUS symposium on photomask technology (4-7 October, 2006, Monterey, California, USA), 2005
    Konferenz
  7. CHU, Chih-Wei ; TSAO, Becky ; et al.
    In: Optical microlithography XIX (21-24 February 2006, San Jose, California, USA), 2006
    Konferenz
  8. Gerardo José Ginovart-Panisello ; Iriondo, Ignasi ; et al.
    In: Applied Sciences, Jg. 14 (2024-03-01), Heft 5, S. 2156-2156
    Online academicJournal
    Siehe Detailanzeige für Volltext
  9. Wehner, Martin
    2018
    report
  10. Faidel, Heinrich ; Löhring, Jens
    2016
    report
  11. Ohigashi, Nobuhisa ; Chen, J. ; et al.
    In: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section A: Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated Equipment, Jg. 341 (1994-03-01), S. ABS35- (2S.)
    Online unknown
  12. Hördemann, Christian ; Britten, Simon ; et al.
    2016
    report
  13. WEI, XIONG ; JINYU, ZHANG ; et al.
    In: Microelectronic engineering, Jg. 87 (2010), Heft 4, S. 560-565
    academicJournal
  14. Warburton, F. W.
    In: American Journal of Physics, Jg. 16 (1948-11-01), S. 435-443
    Online unknown
  15. Borghetti, Alberto ; Napolitano, Fabio ; et al.
    2018
    Online unknown
  16. Fraunhofer-Institut Für Lasertechnik, ILT
    2011
    Online unknown
  17. Fraunhofer-Institut Für Lasertechnik, ILT
    2010
    Online unknown
  18. Fraunhofer-Institut Für Lasertechnik, ILT
    2008
    Online unknown
xs 0 - 576
sm 576 - 768
md 768 - 992
lg 992 - 1200
xl 1200 - 1366
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