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    Effects of magnetic field on pulse wave forms in plasma immersion ion implantation in a radio-frequency, inductively coupled plasma
    Chu, Paul K. ; Zeng, Xuchu ; et al.
    In: Journal of Applied Physics, Jg. 92 (2002-09-01), S. 2284-2289
    Online unknown
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    Modeling of incident particle energy distribution in plasma immersion ion implantation
    Kwok, Dixon T. K. ; Chu, Paul K. ; et al.
    In: Journal of Applied Physics, Jg. 88 (2000-11-01), S. 4961-4966
    Online unknown
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    Efficacy of high-frequency, low-voltage plasma immersion ion implantation of a bar-shaped target
    Zeng, Xuchu ; Zeng, Z.M. ; et al.
    In: Journal of Applied Physics, Jg. 88 (2000-09-01), S. 2221-2225
    Online unknown
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    Plasma immersion ion implantation of the interior surface of a large cylindrical bore using an auxiliary electrode
    Tang, Baoyin ; Chu, Paul K. ; et al.
    In: Journal of Applied Physics, Jg. 83 (1998), S. 44-49
    Online unknown
    Zugriff:
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  5. Detailansicht für Treffer 5 öffnen
    Plasma sheath physics and dose uniformity in enhanced glow discharge plasma immersion ion implantation and deposition
    Li, Jianhui ; Wang, Zhuo ; et al.
    In: Journal of Applied Physics, Jg. 106 (2009-07-01), S. 013313-13313
    Online unknown
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xs 0 - 576
sm 576 - 768
md 768 - 992
lg 992 - 1200
xl 1200 - 1366
xxl 1366 -