Zum Hauptinhalt springen
UB Hagen

Suchergebnisse

UB Katalog

Artikel & mehr
24 Treffer

Suchmaske

Suchtipp für den Bereich Artikel & mehr: Wörter werden automatisch mit UND verknüpft. Eine ODER-Verknüpfung erreicht man mit dem Zeichen "|", eine NICHT-Verknüpfung mit einem "-" (Minus) vor einem Wort. Anführungszeichen ermöglichen eine Phrasensuche.
Beispiele: (burg | schloss) -mittelalter, "berufliche bildung"

Das folgende Suchfeld wird hier nicht unterstützt: "Signatur / Strichcode".

Suchergebnisse einschränken oder erweitern

Aktive Suchfilter

Erscheinungszeitraum

Mehr Treffer

Weniger Treffer

Gefunden in

Art der Quelle

Schlagwort

Sprache

24 Treffer

Sortierung: 
  1. Detailansicht für Treffer 1 öffnen
    CMOS-MEMS Lateral Electrothermal Actuators
    GILGUNN, Peter J ; JINGWEI, LIU ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 17 (2008), Heft 1, S. 103-114
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
  2. Detailansicht für Treffer 2 öffnen
    Process development for CMOS-MEMS sensors with robust electrically isolated bulk silicon microstructures
    HONGWEI, QU ; HUIKAI, XIE
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 16 (2007), Heft 5, S. 1152-1161
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
  3. Detailansicht für Treffer 3 öffnen
    High-Q solenoid inductors with a CMOS-compatible concave-suspending MEMS process
    LEI, GU ; XINXIN, LI
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 16 (2007), Heft 5, S. 1162-1172
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
  4. Detailansicht für Treffer 4 öffnen
    A CMOS micromachined capacitive tactile sensor with high-frequency output
    KO, Cheng-Ting ; TSENG, Sheng-Hsiang ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 15 (2006), Heft 6, S. 1708-1714
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
  5. Detailansicht für Treffer 5 öffnen
    Four d.o.f. Piezoelectric Microgripper Equipped With a Smart CMOS Camera
    TAMADAZTE, B ; PAINDAVOINE, M ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 21 (2012), Heft 2, S. 256-258
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
  6. Detailansicht für Treffer 6 öffnen
    Mechanics of Out-of-Plane MEMS via Postbuckling: Model-Experiment Demonstration Using CMOS
    FACHIN, Fabio ; NIKLES, Stefan A ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 21 (2012), Heft 3, S. 621-634
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
  7. Detailansicht für Treffer 7 öffnen
    Post-CMOS-Compatible Aluminum Nitride Resonant MEMS Accelerometers
    OLSSON, Roy H ; WOJCIECHOWSKI, Kenneth E ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 18 (2009), Heft 3, S. 671-678
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
  8. Detailansicht für Treffer 8 öffnen
    Post-CMOS processing for high-aspect-ratio integrated silicon microstructures
    HUIKAI, XIE ; ERDMANN, Lars ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 11 (2002), Heft 2, S. 93-101
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
  9. Detailansicht für Treffer 9 öffnen
    Process-dependent thin-film thermal conductivities for thermal CMOS MEMS
    VON ARX, M ; PAUL, O ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 9 (1999), Heft 1, S. 136-145
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
  10. Detailansicht für Treffer 10 öffnen
    Fabrication techniques to realize CMOS-compatible microfluidic microchannels
    RASMUSSEN, Angela ; GAITAN, Michael ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 10 (2001), Heft 2, S. 286-297
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
  11. Detailansicht für Treffer 11 öffnen
    Hybrid postprocessing etching for CMOS-compatible MEMS
    TEA, N. H ; MILANOVIC, V ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 6 (1997), Heft 4, S. 363-372
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
  12. Detailansicht für Treffer 12 öffnen
    An integrated floating-electrode electric microgenerator
    WEI, MA ; RUIQING, ZHU ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 16 (2007), Heft 1, S. 29-37
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
  13. Detailansicht für Treffer 13 öffnen
    Resonant magnetic field sensor with frequency output
    SUNIER, Robert ; VANCURA, Tobias ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 15 (2006), Heft 5, S. 1098-1107
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
  14. Detailansicht für Treffer 14 öffnen
    Room-Temperature Fabrication of Anodic Tantalum Pentoxide for Low-Voltage Electrowetting on Dielectric (EWOD)
    YIFAN, LI ; PARKES, William ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 17 (2008), Heft 6, S. 1481-1488
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
  15. Detailansicht für Treffer 15 öffnen
    Three-dimensional self-assembled sensors in thin-film SOI technology
    IKER, Francois ; ANDRE, Nicolas ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 15 (2006), Heft 6, S. 1687-1697
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
  16. Detailansicht für Treffer 16 öffnen
    Fluidic heterogeneous microsystems assembly and packaging
    WEI, ZHENG ; CHUNG, Jaehoon ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 15 (2006), Heft 4, S. 864-870
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
  17. Detailansicht für Treffer 17 öffnen
    Principles of Meniscus-Based MEMS Gas or Liquid Pressure Sensors
    SUTER, Jonathan D ; HOHIMER, Cameron J ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 22 (2013), Heft 3, S. 670-677
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
  18. Detailansicht für Treffer 18 öffnen
    Active MEMS Valves for Flow Control in a High-Pressure Micro-Gas-Analyzer
    GALAMBOS, Paul ; LANTZ, Jeffrey ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 20 (2011), Heft 5, S. 1150-1162
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
  19. Detailansicht für Treffer 19 öffnen
    Electroless Deposition and Structuring of Silver Electrodes in Closed Microfluidic Capillaries
    HEUCK, Friedjof C. A ; STAUFER, Urs
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 20 (2011), Heft 2, S. 451-459
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
  20. Detailansicht für Treffer 20 öffnen
    Influence of Etching Potential on Convex Corner Anisotropic Etching in TMAH Solution
    BAGOLINI, Alvise ; FAES, Alessandro ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 19 (2010), Heft 5, S. 1254-1259
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
xs 0 - 576
sm 576 - 768
md 768 - 992
lg 992 - 1200
xl 1200 - 1366
xxl 1366 -