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1.904 Treffer

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    In situ doping of diamond coatings with silicon, aluminum and titanium through a modified laser-based CVD process
    SCHWANDER, Michael ; VOLLERTSEN, Frank
    In: Diamond and related materials, Jg. 41 (2014), S. 41-48
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    Modeling and measurement of film deposition in a one-dimensional hot-wire CVD system
    JIE, ZHOU ; WOLDEN, Colin A
    In: Proceedings of the Second International Conference on Cat-CVD (Hot Wire CVD) Process, Denver, Colorado, USA, September 10-13, 2002, Jg. 430 (2003), Heft 1-2, S. 28-32
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Characterization of Cat-CVD grown Si-C and Si-C-O dielectric films for ULSI applications
    TAKATSUJI, K ; KAWAKAMI, M ; et al.
    In: Proceedings of the Second International Conference on Cat-CVD (Hot Wire CVD) Process, Denver, Colorado, USA, September 10-13, 2002, Jg. 430 (2003), Heft 1-2, S. 116-119
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  4. Detailansicht für Treffer 4 öffnen
    Modeling of plasma CVD on the inner surface of a microchannel
    KADOWAKI, Motoki ; YAMAMOTO, Aguru ; et al.
    In: Proceedings of the 18th Symposium on Plasma Science for Materials (SPSM-18), Tokyo, Japan, June 28-29, 2005, Jg. 515 (2007), Heft 9, S. 4197-4202
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Identification and gas phase kinetics of radical species in Cat-CVD processes of SiH4
    NOZAKI, Yoshitaka ; KITAZOE, Makiko ; et al.
    In: Proceedings of the First International Conference on Cat-CVD (Hot-Wire CVD) Process, Kanazawa, Japan, November 14-17, 2000, Jg. 395 (2001), Heft 1-2, S. 47-50
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Growth mechanisms and structural properties of microcrystalline silicon films deposited by catalytic CVD
    NIIKURA, C ; KIM, S. Y ; et al.
    In: Proceedings of the First International Conference on Cat-CVD (Hot-Wire CVD) Process, Kanazawa, Japan, November 14-17, 2000, Jg. 395 (2001), Heft 1-2, S. 178-183
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Preparation of SiO2 thin films using the Cat-CVD method
    SAITO, K ; UCHIYAMA, Y ; et al.
    In: Proceedings of the Second International Conference on Cat-CVD (Hot Wire CVD) Process, Denver, Colorado, USA, September 10-13, 2002, Jg. 430 (2003), Heft 1-2, S. 287-291
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Catalytic CVD growth of Si-C and Si-C-O alloy films by using alkylsilane and related compounds
    NAKAYAMA, H ; TAKATSUJI, K ; et al.
    In: Proceedings of the Second International Conference on Cat-CVD (Hot Wire CVD) Process, Denver, Colorado, USA, September 10-13, 2002, Jg. 430 (2003), Heft 1-2, S. 87-90
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Optimization of a thermal-CVD system for carbon nanotube growth
    PORRO, S ; MUSSO, S ; et al.
    In: Proceedings of the E-MRS 2006 Symposium E: Science and Technology of Nanotubes and Nanowires, Nice, 29 May-2 June, Jg. 37 (2007), Heft 1-2, S. 16-20
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    The role of hydrogen dilution of silane and phosphorus doping on hydrogenated microcrystalline silicon (μc-Si:H) films prepared by hot-wire chemical vapor deposition (HW-CVD) technique
    JADKAR, S. R ; SALI, J. V ; et al.
    In: Proceedings of the First International Conference on Cat-CVD (Hot-Wire CVD) Process, Kanazawa, Japan, November 14-17, 2000, Jg. 395 (2001), Heft 1-2, S. 206-212
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  11. Detailansicht für Treffer 11 öffnen
    Photoluminescent, wide-bandgap a-SiC:H alloy films deposited by Cat-CVD using acetylene
    KUMBHAR, Alka ; PATIL, Samadhan B ; et al.
    In: Proceedings of the First International Conference on Cat-CVD (Hot-Wire CVD) Process, Kanazawa, Japan, November 14-17, 2000, Jg. 395 (2001), Heft 1-2, S. 244-248
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  12. Detailansicht für Treffer 12 öffnen
    Correlated structural and electronic properties of microcrystalline silicon films deposited at low temperature by catalytic CVD
    BOUREE, J. E
    In: Proceedings of the First International Conference on Cat-CVD (Hot-Wire CVD) Process, Kanazawa, Japan, November 14-17, 2000, Jg. 395 (2001), Heft 1-2, S. 157-162
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  13. Detailansicht für Treffer 13 öffnen
    Preparation of carbon nitride films by DC arc plasma jet CVD
    YAMAZATO, M ; HIGA, A ; et al.
    In: Proceedings of diamond 2005, the 16th european conference on diamond, diamond-like materials, carbon nanotubes, nitrides & silicon carbide, Jg. 15 (2006), Heft 4-8, S. 917-920
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  14. Detailansicht für Treffer 14 öffnen
    Aligned carbon nanotubes grown on alumina and quartz substrates by a simple thermal CVD process
    TERRADO, E ; REDRADO, M ; et al.
    In: Proceedings of diamond 2005, the 16th european conference on diamond, diamond-like materials, carbon nanotubes, nitrides & silicon carbide, Jg. 15 (2006), Heft 4-8, S. 1059-1063
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  15. Detailansicht für Treffer 15 öffnen
    Process stability and morphology optimization of very thick 4H―SiC epitaxial layers grown by chloride-based CVD
    YAZDANFAR, M ; STENBERG, P ; et al.
    In: Journal of crystal growth, Jg. 380 (2013), S. 55-60
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  16. Detailansicht für Treffer 16 öffnen
    Surface and nanomechanical properties of Si:C:H films prepared by RF plasma beam CVD
    TOTH, A ; MOHAI, M ; et al.
    In: Proceedings of Diamond 2004, the 15th European Conference on Diamond, Diamond-like Materials, Carbon Nanotubes, Nitrides & Silicon Carbide, Jg. 14 (2005), Heft 3-7, S. 954-958
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  17. Detailansicht für Treffer 17 öffnen
    Chemical structure of silicon-, oxygen- and nitrogen-containing a-C :H films prepared by RF plasma beam CVD
    TOTH, A ; MOHAI, M ; et al.
    In: Proceedings of Symposium J on Synthesis, Characterization and Advanced Applications of Amorphous Carbon Films, EMRS 2004 Conference, Strasbourg, Fran ce, 24-28 May, Jg. 482 (2005), Heft 1-2, S. 183-187
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  18. Detailansicht für Treffer 18 öffnen
    Characterization of amorphous carbon films deposited by surface wave plasma CVD
    AKASAKA, Hiroki ; OHTAKE, Naoto
    In: Proceedings of the 10th international conference on new diamond science and technology ICNDST-10, Jg. 14 (2005), Heft 11-12, S. 1828-1831
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  19. Detailansicht für Treffer 19 öffnen
    Hot-wire CVD-grown microcrystalline silicon films with and without initial growing layer modification by transformer-coupled plasma
    KIM, D. Y ; AHN, B. J ; et al.
    In: Proceedings of the First International Conference on Cat-CVD (Hot-Wire CVD) Process, Kanazawa, Japan, November 14-17, 2000, Jg. 395 (2001), Heft 1-2, S. 184-187
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  20. Detailansicht für Treffer 20 öffnen
    The effects of CVD SiC interphase on mechanical properties of KD-1 SiC fiber reinforced aluminum phosphate composites
    DONGHAI, DING ; WANCHENG, ZHOU ; et al.
    In: Materials science & engineering. A, Structural materials : properties, microstructure and processing, Jg. 534 (2012), S. 347-352
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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