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In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 20 (2011), Heft 6, S. 1439-1448Online academicJournalZugriff:
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In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 7 (1998), Heft 4, S. 387-394Online academicJournalZugriff:
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In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 15 (2006), Heft 6, S. 1687-1697Online academicJournalZugriff:
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In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 8 (1999), Heft 2, S. 192-199Online academicJournalZugriff: