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    Behaviour of TFMS and CPW line on SOI substrate versus high temperature for RF applications
    SI MOUSSA, M ; PAVAGEAU, C ; et al.
    In: Solid-state electronics, Jg. 50 (2006), Heft 11-12, S. 1822-1827
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  2. Detailansicht für Treffer 2 öffnen
    Measured quality factor and intermodulation product of CPW resonators on silicon substrates with 100 nm wide niobium lines at 17 GHz and 4.2 K
    WÜNSCH, S ; SCHERER, T. A ; et al.
    In: Proceedings of the 5th European Conference on Applied Superconductivity, EUCAS 2001, Lyngby, Denmark, August 26-30, 2001. Part I, Jg. 372-76 (2002), S. 478-481
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  3. Detailansicht für Treffer 3 öffnen
    Micromachined SU8 negative resist for MMIC applications on low resistivity CMOS substrates
    ELGAID, Khaled ; MCCLOY, David A ; et al.
    In: Proceedings of the 28th International Conference on Micro- and Nano-Engineering, September 16-19, 2002, Lugano, Switzerland, Jg. 67-68 (2003), S. 417-421
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  4. Detailansicht für Treffer 4 öffnen
    Asymmetry ridge structure fabrication and reactive ion etching of LiNbO3
    YANG, W. S ; LEE, H.-Y ; et al.
    In: Optical materials (Amsterdam), Jg. 27 (2005), Heft 10, S. 1642-1646
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  5. Detailansicht für Treffer 5 öffnen
    Fabrication of dielectric lens supported, antenna coupled, warm-carrier devices
    YASUOKA, Yoshizumi ; SUZUKI, Kenji ; et al.
    In: Proceedings of the 29th Conference on Micro and Nano Engineering, September 22-25, 2003, Cambridge, United Kingdom, Jg. 73-74 (2004), S. 496-501
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  6. Detailansicht für Treffer 6 öffnen
    Superconducting coplanar nanolines with 50 nm linewidth
    WEIMANN, Th ; HINZE, P ; et al.
    In: Proceedings of the 28th International Conference on Micro- and Nano-Engineering, September 16-19, 2002, Lugano, Switzerland, Jg. 67-68 (2003), S. 363-368
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  7. Detailansicht für Treffer 7 öffnen
    Design and fabrication of a new micromachined interdigital coplanar waveguide
    SUN, Xiao-Feng ; DING, Gui-Fu ; et al.
    In: Microelectronics journal, Jg. 37 (2006), Heft 11, S. 1379-1383
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  8. Detailansicht für Treffer 8 öffnen
    Modeling and fabrication of a microelectromechanical microwave switch
    DAI, Ching-Liang ; HSU, Heng-Ming ; et al.
    In: Microelectronics journal, Jg. 38 (2007), Heft 4-5, S. 519-524
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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sm 576 - 768
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