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    A CMOS-Integrated MEMS Platform for Frequency Stable Resonators—Part II: Design and Analysis.
    Chen, Chao-Yu ; Li, Ming-Huang ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 28 (2019-10-01), Heft 5, S. 755-765
    Online academicJournal
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    A CMOS-Integrated MEMS Platform for Frequency Stable Resonators-Part I: Fabrication, Implementation, and Characterization.
    Chen, Chao-Yu ; Li, Ming-Huang ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 28 (2019-10-01), Heft 5, S. 744-754
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
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    Dieser Titel kann aus lizenzrechtlichen Gründen nur im Campusnetz oder nach Anmeldung angezeigt werden!
    academicJournal
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    Implementation of a CMOS-MEMS Filter Through a Mixed Electrical and Mechanical Coupling Scheme.
    Chen, Chao-Yu ; Li, Ming-Huang ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 25 (2016-04-01), Heft 2, S. 262-274
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
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    Resonant Body Transistors in IBM's 32 nm SOI CMOS Technology.
    Marathe, Radhika ; Bahr, Bichoy ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 23 (2014-06-01), Heft 3, S. 636-650
    Online academicJournal
    Zugriff:
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    Design and Characterization of a Dual-Mode CMOS-MEMS Resonator for TCF Manipulation.
    Li, Ming-Huang ; Chen, Chao-Yu ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 24 (2015-04-01), Heft 2, S. 446-457
    Online academicJournal
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    A Monolithic CMOS-MEMS Oscillator Based on an Ultra-Low-Power Ovenized Micromechanical Resonator.
    Li, Ming-Huang ; Chen, Chao-Yu ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 24 (2015-04-01), Heft 2, S. 360-372
    Online academicJournal
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    Temperature-Compensated CMOS-MEMS Oxide Resonators.
    Liu, Yu-Chia ; Tsai, Ming-Han ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 22 (2013-10-01), Heft 5, S. 1054-1065
    Online academicJournal
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    Volltext
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    Development and Characterization of a CMOS-MEMS Accelerometer With Differential LC-Tank Oscillators.
    Chiu, Yi ; Hong, Hao-Chiao ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 22 (2013-12-01), Heft 6, S. 1285-1295
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
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    High-Q Integrated CMOS-MEMS Resonators With Deep-Submicrometer Gaps and Quasi-Linear Frequency Tuning.
    Chen, Wen-Chien ; Fang, Weileun ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 21 (2012-06-01), Heft 3, S. 688-701
    Online academicJournal
    Zugriff:
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    A Temperature-Stable Piezoelectric MEMS Oscillator Using a CMOS PLL Circuit for Temperature Sensing and Oven Control.
    Wu, Zhengzheng ; Rais-Zadeh, Mina
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 24 (2015-12-01), Heft 6, S. 1747-1758
    Online academicJournal
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    A High Fill-Factor Annular Array of High Frequency Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducers.
    Lu, Yipeng ; Heidari, Amir ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 24 (2015-08-01), Heft 4, S. 904-913
    Online academicJournal
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  13. Detailansicht für Treffer 13 öffnen
    Investigation of Multimodal Electret-Based MEMS Energy Harvester With Impact-Induced Nonlinearity.
    Tao, Kai ; Tang, Lihua ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 27 (2018-04-01), Heft 2, S. 276-288
    Online academicJournal
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    Vibration Mode Suppression in Micromechanical Resonators Using Embedded Anti- Resonating Structures.
    Liu, Jia-Ren ; Tsai, Chun-Pu ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 30 (2021-02-01), Heft 1, S. 53-63
    Online academicJournal
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    All-Silicon Technology for High- $Q$ Evanescent Mode Cavity Tunable Resonators and Filters.
    Arif, Muhammad Shoaib ; Peroulis, Dimitrios
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 23 (2014-06-01), Heft 3, S. 727-739
    Online academicJournal
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  16. Detailansicht für Treffer 16 öffnen
    Vacuum Packaged Low-Power Resonant MEMS Strain Sensor.
    Do, Cuong D. ; Erbes, Andreja ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 25 (2016-10-01), Heft 5, S. 851-858
    Online academicJournal
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  17. Detailansicht für Treffer 17 öffnen
    Micromechanical Resonators Based on Silicon Two-Dimensional Phononic Crystals of Square Lattice.
    Wang, Nan ; Tsai, Julius Ming-Lin ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 21 (2012-08-01), Heft 4, S. 801-810
    Online academicJournal
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  18. Detailansicht für Treffer 18 öffnen
    A Vertically Coupled MEMS Resonator Pair for Oscillator Applications.
    Li, Ming-Huang ; Chen, Chao-Yu ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 24 (2015-06-01), Heft 3, S. 528-530
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    MEMS Scale PVDF-TrFE-Based Piezoelectric Energy Harvesters.
    Toprak, Alperen ; Tigli, Onur
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 24 (2015-12-01), Heft 6, S. 1989-1997
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    Design, Modeling and Fabrication of TPoS MEMS Resonators With Improved Performance at 1 GHz.
    Narayanan, K. N. Bhadri ; Nair, Deleep R. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 30 (2021-06-01), Heft 3, S. 375-383
    Online academicJournal
    Zugriff:
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