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    Resonant Body Transistors in IBM's 32 nm SOI CMOS Technology
    MARATHE, Radhika ; BAHR, Bichoy ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 23 (2014), Heft 3, S. 636-650
    Online academicJournal
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    CMOS-Integrated RF MEMS Resonators
    ZALALUTDINOV, Maxim K ; CROSS, Joshua D ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 19 (2010), Heft 4, S. 807-815
    Online academicJournal
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    A CMOS-Integrated MEMS Platform for Frequency Stable Resonators—Part II: Design and Analysis
    Li, Cheng-Syun ; Li, Ming-Huang ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 28 (2019-10-01), S. 755-765
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    Magnet-Less Circulator Using AlN MEMS Filters and CMOS RF Switches
    Piazza, Gianluca ; Xu, Changting
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 28 (2019-06-01), S. 409-418
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    CMOS Closed-Loop Control of MEMS Varactors for Robust Ka -Band Tunable Filters
    Scarbrough, Derek ; Jin, Renfeng ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 28 (2019-10-01), S. 910-918
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    Monolithically Integrated CMOS-SMR Oscillator in 65 nm CMOS Using Custom MPW Die-Level Fabrication Process
    Kinget, Peter R. ; Colon-Berrios, Aida R. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 26 (2017-08-01), S. 846-858
    Online unknown
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    Sidewall Metallization on CMOS MEMS by Platinum ALD Patterning
    Fedder, Gary K. ; Santhanam, Suresh ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 29 (2020-10-01), S. 978-983
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    Mitigating the Insufficient Etching Selectivity in the Wet Release Process of CMOS-MEMS Metal Resonators Via Diffusion Control
    Li, Wei-Chang ; Hsu, Cheng-En
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 29 (2020-12-01), S. 1415-1417
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    Theory and Design of Phononic Crystals for Unreleased CMOS-MEMS Resonant Body Transistors
    Weinstein, Dana ; Bahr, Bichoy ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 24 (2015-10-01), S. 1520-1533
    Online unknown
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    A Temperature-Stable Piezoelectric MEMS Oscillator Using a CMOS PLL Circuit for Temperature Sensing and Oven Control
    Rais-Zadeh, Mina ; Wu, Zhengzheng
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 24 (2015-12-01), S. 1747-1758
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    Resonant Body Transistors in IBM's 32 nm SOI CMOS Technology
    Weinstein, Dana ; Daniel, Luca ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 23 (2014-06-01), S. 636-650
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    Differentially Piezoresistive Sensing for CMOS-MEMS Resonators
    Chin, Chi-Hang ; Li, Ming-Huang ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 22 (2013-12-01), S. 1361-1372
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    Temperature-Compensated CMOS-MEMS Oxide Resonators
    Liu, Yu-Chia ; Chen, Wen-Chien ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 22 (2013-10-01), S. 1054-1065
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    High-$Q$ Integrated CMOS-MEMS Resonators With Deep-Submicrometer Gaps and Quasi-Linear Frequency Tuning
    Chen, Wen-Chien ; Fang, Weileun ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 21 (2012-06-01), S. 688-701
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    CMOS-Integrated RF MEMS Resonators
    Houston, Brian H. ; Zalalutdinov, Maxim ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 19 (2010-08-01), S. 807-815
    Online unknown
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