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58 Treffer

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    TPb41 A HIGH RESOLUTION, STICTIONLESS, CMOS COMPATIBLE SOI ACCELEROMETER WITH A LOW NOISE, LOW POWER 0.25mum CMOS INTERFACE : Micro electro mechanical systems
    Amini, B. V. ; Pourkamali, S. ; et al.
    In: IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, 2004, S. 572-575
    Konferenz
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    WP36 SIMULTANEOUS FABRICATION OF RF MEMS SWITCHES AND RESONATORS USING COPPER-BASED CMOS INTERCONNECT MANUFACTURING METHODS : Micro electro mechanical systems
    Jahnes, C. V. ; Cotte, J. ; et al.
    In: IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, 2004, S. 789-792
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    WP19 NOVEL HIGH GROWTH RATE PROCESSES FOR DEPOSITING POLY-SIGE STRUCTURAL LAYERS AT CMOS COMPATIBLE TEMPERATURES : Micro electro mechanical systems
    Mehta, A. ; Gromova, M. ; et al.
    In: IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, 2004, S. 721-724
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    LOW PHASE NOISE CMOS DISTRIBUTED OSCILLATORS USING MEMS LOW LOSS TRANSMISSION LINES : Micro electro mechanical systems
    Park, E. C. ; Song, T. S. ; et al.
    In: IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, 2004, S. 645-648
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    TPb36 A THERMAL CONDUCTIVITY BASED HUMIDITY SENSOR IN A STANDARD CMOS PROCESS : Micro electro mechanical systems
    Okcan, B. ; Akin, T.
    In: IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, 2004, S. 552-555
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    WP29 CMOS-Based Sealed Membranes for Medical Tactile Sensor Arrays : Micro electro mechanical systems
    Salo, T. ; Vancura, T. ; et al.
    In: IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, 2003, S. 590-593
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    WP7 Fabrication of a CMOS Compatible Pressure Sensor for Harsh Environments : Micro electro mechanical systems
    Pakula, L. S. ; Yang, H. ; et al.
    In: IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, 2003, S. 502-505
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    TP10 Arrays of Monocrystalline Silicon Micromirrors Fabricated Using CMOS Compatible Transfer Bonding : Micro electro mechanical systems
    Haasl, S. ; Niklaus, F. ; et al.
    In: IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, 2003, S. 271-274
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    TP18 Monolithic Metal-Oxide Microsensor System in Industrial CMOS Technology : Micro electro mechanical systems
    Graf, M. ; Barrettino, D. ; et al.
    In: IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, 2003, S. 303-306
    Konferenz
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  10. Detailansicht für Treffer 10 öffnen
    A Copper CMOS-MEMS Z-Axis Gyroscope : Micro electro mechanical systems
    Luo, H. ; Zhu, X. ; et al.
    In: IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, 2002, S. 631-634
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  11. Detailansicht für Treffer 11 öffnen
    A Hybrid Silicon-on-Glass (SOG) Lateral Micro-Accelerometer with CMOS Readout Circuitry : Micro electro mechanical systems
    Chae, J. ; Kulah, H. ; et al.
    In: IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, 2002, S. 623-626
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  12. Detailansicht für Treffer 12 öffnen
    A SCS CMOS Micromirror for Optical Coherence Tomographic Imaging : Micro electro mechanical systems
    Xie, H. ; Pan, Y. ; et al.
    In: IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, 2002, S. 495-498
    Konferenz
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    CMOS MEMS - Present and Future : Micro electro mechanical systems
    Baltes, H. ; Brand, O. ; et al.
    In: IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, 2002, S. 459-466
    Konferenz
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  14. Detailansicht für Treffer 14 öffnen
    Temperature Control of CMOS Micromachined Sensors : Micro electro mechanical systems
    Lakdawala, H. ; Fedder, G. K.
    In: IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, 2002, S. 324-327
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
  15. Detailansicht für Treffer 15 öffnen
    Digital Sound Reconstruction using Arrays of CMOS-MEMS Microspeakers : Micro electro mechanical systems
    Diamond, B. M. ; Neumann, J. J. ; et al.
    In: IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, 2002, S. 292-295
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Magnetic Actuation and MOS-Transistor Sensing for CMOS-Integrated Resonators : Micro electro mechanical systems
    Lange, D. ; Hagleitner, C. ; et al.
    In: IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, 2002, S. 304-307
    Konferenz
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    Micromachined CMOS Magnetic Field Sensors with Low-Noise Signal Conditioning : Micro electro mechanical systems
    Beroulle, V. ; Bertrand, Y. ; et al.
    In: IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, 2002, S. 256-259
    Konferenz
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    CMOS Single-Chip Multisensor Gas Detection System : Micro electro mechanical systems
    Hagleitner, C. ; Lange, D. ; et al.
    In: IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, 2002, S. 244-247
    Konferenz
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  19. Detailansicht für Treffer 19 öffnen
    A Direct Plasma Etch Approach to High Aspect Ratio Polymer Micromachining with Applications in BioMEMS and CMOS-MEMS : Micro electro mechanical systems
    Zahn, J. D. ; Gabriel, K. J. ; et al.
    In: IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, 2002, S. 137-140
    Konferenz
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  20. Detailansicht für Treffer 20 öffnen
    A Low Cost Uncooled Infrared Microbolometer Focal Plane Array using the CMOS N-Well Layer : Micro electro mechanical systems
    Tezcan, D. S. ; Eminoglu, S. ; et al.
    In: IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, 2001, S. 566-569
    Konferenz
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