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    Resonant Body Transistors in IBM's 32 nm SOI CMOS Technology
    MARATHE, Radhika ; BAHR, Bichoy ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 23 (2014), Heft 3, S. 636-650
    Online academicJournal
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    A Three-Axis CMOS-MEMS Accelerometer Structure With Vertically Integrated Fully Differential Sensing Electrodes
    TSAI, Ming-Han ; LIU, Yu-Chia ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 21 (2012), Heft 6, S. 1329-1337
    Online academicJournal
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    A Single-Platform Simulation and Design Technique for CMOS-MEMS Based on a Circuit Simulator With Hardware Description Language
    KONISHI, Toshifumi ; MACHIDA, Katsuyuki ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 22 (2013), Heft 3, S. 755-767
    Online academicJournal
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    Volltext
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    Differentially Piezoresistive Sensing for CMOS-MEMS Resonators
    LI, Cheng-Syun ; LI, Ming-Huang ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 22 (2013), Heft 6, S. 1361-1372
    Online academicJournal
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    Volltext
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    Temperature-Compensated CMOS-MEMS Oxide Resonators
    LIU, Yu-Chia ; TSAI, Ming-Han ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 22 (2013), Heft 5, S. 1054-1065
    Online academicJournal
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    CMOS-Based High-Density Silicon Microprobe Arrays for Electronic Depth Control in Intracortical Neural Recording―Characterization and Application
    SEIDL, Karsten ; SCHWAERZLE, Michael ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 21 (2012), Heft 6, S. 1426-1435
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
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    High-Q Integrated CMOS-MEMS Resonators With Deep-Submicrometer Gaps and Quasi-Linear Frequency Tuning
    CHEN, Wen-Chien ; WEILEUN, FANG ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 21 (2012), Heft 3, S. 688-701
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
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    Behavioral Modeling of a CMOS-MEMS Nonlinear Parametric Resonator
    CONGZHONG, GUO ; FEDDER, Gary K
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 22 (2013), Heft 6, S. 1447-1457
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
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    A Multilevel CMOS-MEMS Design Methodology Based on Response Surface Models
    SATO, Norio ; SATO, Yasuhiro ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 20 (2011), Heft 3, S. 609-621
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
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  10. Detailansicht für Treffer 10 öffnen
    A Low-Cost 128 × 128 Uncooled Infrared Detector Array in CMOS Process
    EMINOGLU, Selim ; MAHMUD YUSUF, TANRIKULU ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 17 (2008), Heft 1, S. 20-30
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
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    CMOS-Integrated RF MEMS Resonators
    ZALALUTDINOV, Maxim K ; CROSS, Joshua D ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 19 (2010), Heft 4, S. 807-815
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
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    11-Megapixel CMOS-Integrated SiGe Micromirror Arrays for High-End Applications
    WITVROUW, Ann ; HASPESLAGH, Luc ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 19 (2010), Heft 1, S. 202-214
    Online academicJournal
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    Volltext
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  13. Detailansicht für Treffer 13 öffnen
    One-Megapixel Monocrystalline-Silicon Micromirror Array on CMOS Driving Electronics Manufactured With Very Large-Scale Heterogeneous Integration
    ZIMMER, Fabian ; LAPISA, Martin ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 20 (2011), Heft 3, S. 564-572
    Online academicJournal
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    Volltext
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  14. Detailansicht für Treffer 14 öffnen
    CMOS-MEMS Lateral Electrothermal Actuators
    GILGUNN, Peter J ; JINGWEI, LIU ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 17 (2008), Heft 1, S. 103-114
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
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  15. Detailansicht für Treffer 15 öffnen
    CMOS-MEMS Capacitive Humidity Sensor
    LAZARUS, Nathan ; BEDAIR, Sarah S ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 19 (2010), Heft 1, S. 183-191
    Online academicJournal
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  16. Detailansicht für Treffer 16 öffnen
    Process development for CMOS-MEMS sensors with robust electrically isolated bulk silicon microstructures
    HONGWEI, QU ; HUIKAI, XIE
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 16 (2007), Heft 5, S. 1152-1161
    Online academicJournal
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  17. Detailansicht für Treffer 17 öffnen
    High-Q solenoid inductors with a CMOS-compatible concave-suspending MEMS process
    LEI, GU ; XINXIN, LI
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 16 (2007), Heft 5, S. 1162-1172
    Online academicJournal
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  18. Detailansicht für Treffer 18 öffnen
    Low-Stress CMOS-Compatible Silicon Carbide Surface-Micromachining Technology-Part I: Process Development and Characterization
    NABKI, Frederic ; DUSATKO, Tomas A ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 20 (2011), Heft 3, S. 720-729
    Online academicJournal
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  19. Detailansicht für Treffer 19 öffnen
    A CMOS micromachined capacitive tactile sensor with high-frequency output
    KO, Cheng-Ting ; TSENG, Sheng-Hsiang ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 15 (2006), Heft 6, S. 1708-1714
    Online academicJournal
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    Arrays of monocrystalline silicon micromirrors fabricated using CMOS compatible transfer bonding
    NIKLAUS, Frank ; HAASL, Sjoerd ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 12 (2003), Heft 4, S. 465-469
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
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