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    Resonant Body Transistors in IBM's 32 nm SOI CMOS Technology
    MARATHE, Radhika ; BAHR, Bichoy ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 23 (2014), Heft 3, S. 636-650
    Online academicJournal
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    A Three-Axis CMOS-MEMS Accelerometer Structure With Vertically Integrated Fully Differential Sensing Electrodes
    TSAI, Ming-Han ; LIU, Yu-Chia ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 21 (2012), Heft 6, S. 1329-1337
    Online academicJournal
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    A Single-Platform Simulation and Design Technique for CMOS-MEMS Based on a Circuit Simulator With Hardware Description Language
    KONISHI, Toshifumi ; MACHIDA, Katsuyuki ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 22 (2013), Heft 3, S. 755-767
    Online academicJournal
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    Volltext
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    CMOS-Based High-Density Silicon Microprobe Arrays for Electronic Depth Control in Intracortical Neural Recording―Characterization and Application
    SEIDL, Karsten ; SCHWAERZLE, Michael ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 21 (2012), Heft 6, S. 1426-1435
    Online academicJournal
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    High-Q Integrated CMOS-MEMS Resonators With Deep-Submicrometer Gaps and Quasi-Linear Frequency Tuning
    CHEN, Wen-Chien ; WEILEUN, FANG ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 21 (2012), Heft 3, S. 688-701
    Online academicJournal
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    Behavioral Modeling of a CMOS-MEMS Nonlinear Parametric Resonator
    CONGZHONG, GUO ; FEDDER, Gary K
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 22 (2013), Heft 6, S. 1447-1457
    Online academicJournal
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    A Multilevel CMOS-MEMS Design Methodology Based on Response Surface Models
    SATO, Norio ; SATO, Yasuhiro ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 20 (2011), Heft 3, S. 609-621
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
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    A Low-Cost 128 × 128 Uncooled Infrared Detector Array in CMOS Process
    EMINOGLU, Selim ; MAHMUD YUSUF, TANRIKULU ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 17 (2008), Heft 1, S. 20-30
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
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    11-Megapixel CMOS-Integrated SiGe Micromirror Arrays for High-End Applications
    WITVROUW, Ann ; HASPESLAGH, Luc ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 19 (2010), Heft 1, S. 202-214
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
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    CMOS-MEMS Capacitive Humidity Sensor
    LAZARUS, Nathan ; BEDAIR, Sarah S ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 19 (2010), Heft 1, S. 183-191
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
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  11. Detailansicht für Treffer 11 öffnen
    Low-Stress CMOS-Compatible Silicon Carbide Surface-Micromachining Technology-Part I: Process Development and Characterization
    NABKI, Frederic ; DUSATKO, Tomas A ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 20 (2011), Heft 3, S. 720-729
    Online academicJournal
    Zugriff:
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  12. Detailansicht für Treffer 12 öffnen
    Mechanics of Out-of-Plane MEMS via Postbuckling: Model-Experiment Demonstration Using CMOS
    FACHIN, Fabio ; NIKLES, Stefan A ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 21 (2012), Heft 3, S. 621-634
    Online academicJournal
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  13. Detailansicht für Treffer 13 öffnen
    Modeling and Characterization of CMOS-Fabricated Capacitive Micromachined Ultrasound Transducers
    DOODY, Christopher B ; XIAOYANG, CHENG ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 20 (2011), Heft 1, S. 104-118
    Online academicJournal
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  14. Detailansicht für Treffer 14 öffnen
    Design and Fabrication of Monolithic Multidimensional Data Registration CMOS/MEMS Ink-Jet Printhead
    LIOU, Jian-Chiun ; TSENG, Fan-Gang ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 19 (2010), Heft 4, S. 961-972
    Online academicJournal
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  15. Detailansicht für Treffer 15 öffnen
    Low-Stress CMOS-Compatible Silicon Carbide Surface-Micromachining Technology-Part II: Beam Resonators for MEMS Above IC
    NABKI, Frederic ; CICEK, Paul-Vahe ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 20 (2011), Heft 3, S. 730-744
    Online academicJournal
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  16. Detailansicht für Treffer 16 öffnen
    A Two-Dimensional MEMS Scanning Mirror Using Hybrid Actuation Mechanisms With Low Operation Voltage
    KAH HOW, KOH ; LEE, Chengkuo
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 21 (2012), Heft 5, S. 1124-1135
    Online academicJournal
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  17. Detailansicht für Treffer 17 öffnen
    Fluidic heterogeneous microsystems assembly and packaging
    WEI, ZHENG ; CHUNG, Jaehoon ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 15 (2006), Heft 4, S. 864-870
    Online academicJournal
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  18. Detailansicht für Treffer 18 öffnen
    Manufacturing and packaging of sensors for their integration in a vertical MCM microsystem for biomedical applications
    GOTZ, Andreas ; GRACIA, Isabel ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 10 (2001), Heft 4, S. 569-579
    Online academicJournal
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    Magnetoelectric Flexural Gate Transistor With Nanotesla Sensitivity
    FENG, LI ; MISRA, Rajiv ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 22 (2013), Heft 1, S. 71-79
    Online academicJournal
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    Influence of Etching Potential on Convex Corner Anisotropic Etching in TMAH Solution
    BAGOLINI, Alvise ; FAES, Alessandro ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 19 (2010), Heft 5, S. 1254-1259
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
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