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    11-Megapixel CMOS-Integrated SiGe Micromirror Arrays for High-End Applications.
    Witvrouw, Ann ; Haspeslagh, Luc ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 19 (2010-02-01), Heft 1, S. 202-214
    Online academicJournal
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    Wie komme ich dran?
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    CMOS Compatible Integration of Three-Dimensional Microfluidic Systems Based on Low-Temperature Transfer of SU-8 Films.
    Peng, Zheng-chun ; Ling, Zhong-geng ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 15 (2006-06-01), Heft 3, S. 708-716
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
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    High-Q Solenoid Inductors With a CMOS-Compatible Concave-Suspending MEMS Process.
    Gu, Lei ; Li, Xinxin
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 16 (2007-10-01), Heft 5, S. 1162-1172
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
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  4. Detailansicht für Treffer 4 öffnen
    Wafer-Level Transfer Technologies for PZT-Based RF MEMS Switches.
    Guerre, Roland ; Drechsler, Ute ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 19 (2010-06-01), Heft 3, S. 548-560
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
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  5. Detailansicht für Treffer 5 öffnen
    Towards a Versatile DRIE: Silicon Pit Structures Combined With Electrochemical Etch Stop.
    Kurzawski, Petra ; Salo, Tomi ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 15 (2006-08-01), Heft 4, S. 840-848
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
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  6. Detailansicht für Treffer 6 öffnen
    Thermal Isolation of Encapsulated MEMS Resonators.
    Jha, Chandra Mohan ; Hopcroft, Matthew A. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 17 (2008-02-01), Heft 1, S. 175-184
    Online academicJournal
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
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