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    A CMOS-MEMS Thermoresistive Micro Calorimetric Flow Sensor With Temperature Compensation
    Chiu, Yi ; Xu, Wei ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 28 (2019-10-01), S. 841-849
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    CMOS Closed-Loop Control of MEMS Varactors for Robust Ka -Band Tunable Filters
    Scarbrough, Derek ; Jin, Renfeng ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 28 (2019-10-01), S. 910-918
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    A Reliable Liquid-Based CMOS MEMS Micro Thermal Convective Accelerometer With Enhanced Sensitivity and Limit of Detection
    Lee, Yi-Kuen ; Xu, Wei ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 30 (2021-08-01), S. 506-512
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    Theoretical and Experimental Investigations of Thermoresistive Micro Calorimetric Flow Sensors Fabricated by CMOS MEMS Technology
    Gao, Bo ; Song, Kui ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 25 (2016-10-01), S. 954-962
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    In-Plane High-Sensitivity Capacitive Accelerometer in a 3-D CMOS-Compatible Surface Micromachining Process
    El-Gamal, Mourad N. ; Alfaifi, Ahmad ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 28 (2019-02-01), S. 14-24
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    Development of a CMOS-Based Capacitive Tactile Sensor With Adjustable Sensing Range and Sensitivity Using Polymer Fill-In
    Lin, Li-Yuan ; Liu, Yu-Chia ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 20 (2011-02-01), S. 119-127
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    A post-CMOS micromachined lateral accelerometer
    Carley, L.R. ; Fedder, Gary K. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 11 (2002-06-01), S. 188-195
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    Bimorph Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducers
    Akhbari, Sina ; Eovino, Benjamin E. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 25 (2016-04-01), S. 326-336
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