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In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 21 (2012), Heft 6, S. 1426-1435Online academicJournalZugriff:
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In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 19 (2010), Heft 4, S. 961-972Online academicJournalZugriff:
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In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 10 (2001), Heft 4, S. 569-579Online academicJournalZugriff:
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In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 19 (2010), Heft 5, S. 1254-1259Online academicJournalZugriff: