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    Micromachined elevated CPWs for high-performance microwave circuits
    LEE, Sang-No ; LEE, Joon-Ik ; et al.
    In: Journal of micromechanics and microengineering (Print), Jg. 16 (2006), Heft 12, S. 2598-2602
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    Packaging methodology for RF devices using a BCB membrane transfer technique
    SEOK, S ; ROLLAND, N ; et al.
    In: Journal of micromechanics and microengineering (Print), Jg. 16 (2006), Heft 11, S. 2384-2388
    Online academicJournal
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    CMOS-compatible micromachining techniques for fabricating high-performance edge-suspended RF/microwave passive components on silicon substrates
    JINWEN, ZHANG ; WAI CHEONG, HON ; et al.
    In: Journal of micromechanics and microengineering (Print), Jg. 15 (2005), Heft 2, S. 328-335
    Online academicJournal
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    Through-glass copper via using the glass reflow and seedless electroplating processes for wafer-level RF MEMS packaging
    LEE, Ju-Yong ; LEE, Sung-Woo ; et al.
    In: Journal of micromechanics and microengineering (Print), Jg. 23 (2013), Heft 8
    Online academicJournal
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    A silicon-on-glass single-pole-double-throw (SPDT) switching circuit integrated with a silicon-core metal-coated transmission line
    TANG, M ; LIU, A. Q ; et al.
    In: Journal of micromechanics and microengineering (Print), Jg. 18 (2008), Heft 9
    Online academicJournal
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    Mechanical and electrical characterization of BCB as a bond and seal material for cavities housing (RF-)MEMS devices
    JOURDAIN, A ; DE MOOR, P ; et al.
    In: 15th European Workshop on Micromechanics (MME), Leuven, Belgium, 5-7 September 2004, Jg. 15 (2005), Heft 7, S. S89- (8S.)
    Online Konferenz
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    Permittivity measurements up to 30 GHz using micromachined probe
    KIM, Jung-Mu ; DONG HOON, OH ; et al.
    In: Journal of micromechanics and microengineering (Print), Jg. 15 (2005), Heft 3, S. 543-550
    Online academicJournal
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    A mechanically reliable digital-type single crystalline silicon (SCS) RF MEMS variable capacitor
    KIM, Jong-Man ; LEE, Sanghyo ; et al.
    In: Journal of micromechanics and microengineering (Print), Jg. 15 (2005), Heft 10, S. 1854-1863
    Online academicJournal
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    A tunable band-stop filter using a metamaterial structure and MEMS bridges on a silicon substrate
    KUNDU, Avra ; DAS, Sonali ; et al.
    In: Journal of micromechanics and microengineering (Print), Jg. 22 (2012), Heft 4
    Online academicJournal
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    Plasma-enhanced chemical vapor deposition of silicon oxynitride for micromachined millimeter-wave devices
    SAADAOUI, M ; PEYROU, D ; et al.
    In: Journal of micromechanics and microengineering (Print), Jg. 18 (2008), Heft 3
    Online academicJournal
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