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In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 20 (2011-12-01), S. 1439-1448Online unknownZugriff:
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In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 16 (2007-10-01), S. 1152-1161Online unknownZugriff:
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In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 12 (2003-08-01), S. 450-457Online unknownZugriff:
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In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 11 (2002-04-01), S. 93-101Online unknownZugriff:
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In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 19 (2010-12-01), Heft 6, S. 1331-1340Online academicJournalZugriff:
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In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 24 (2015-06-01), S. 755-762Online unknownZugriff:
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In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 15 (2006-08-01), S. 840-848Online unknownZugriff:
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In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 14 (2005-04-01), S. 235-242Online unknownZugriff:
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In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 1 (1992-12-01), S. 193-196Online unknownZugriff:
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In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 20 (2011-08-01), S. 791-793Online unknownZugriff:
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