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    CMOS-Based High-Density Silicon Microprobe Arrays for Electronic Depth Control in Intracortical Neural Recording
    SEIDL, Karsten ; HERWIK, Stanislav ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 20 (2011), Heft 6, S. 1439-1448
    Online academicJournal
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    CMOS-Based High-Density Silicon Microprobe Arrays for Electronic Depth Control in Intracortical Neural Recording―Characterization and Application
    SEIDL, Karsten ; SCHWAERZLE, Michael ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 21 (2012), Heft 6, S. 1426-1435
    Online academicJournal
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    One-Megapixel Monocrystalline-Silicon Micromirror Array on CMOS Driving Electronics Manufactured With Very Large-Scale Heterogeneous Integration
    ZIMMER, Fabian ; LAPISA, Martin ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 20 (2011), Heft 3, S. 564-572
    Online academicJournal
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    Process development for CMOS-MEMS sensors with robust electrically isolated bulk silicon microstructures
    HONGWEI, QU ; HUIKAI, XIE
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 16 (2007), Heft 5, S. 1152-1161
    Online academicJournal
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    High-Q solenoid inductors with a CMOS-compatible concave-suspending MEMS process
    LEI, GU ; XINXIN, LI
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 16 (2007), Heft 5, S. 1162-1172
    Online academicJournal
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    Design and Fabrication of Monolithic Multidimensional Data Registration CMOS/MEMS Ink-Jet Printhead
    LIOU, Jian-Chiun ; TSENG, Fan-Gang ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 19 (2010), Heft 4, S. 961-972
    Online academicJournal
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    Monolithically Integrated CMOS-SMR Oscillator in 65 nm CMOS Using Custom MPW Die-Level Fabrication Process.
    Edrees, Hassan M. ; Colon-Berrios, Aida R. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 26 (2017-08-01), Heft 4, S. 846-858
    Online academicJournal
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    Post-CMOS processing for high-aspect-ratio integrated silicon microstructures
    HUIKAI, XIE ; ERDMANN, Lars ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 11 (2002), Heft 2, S. 93-101
    Online academicJournal
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    Planar CMOS compatible process for the fabrication of buried microchannels in silicon, using porous-silicon technology
    KALTSAS, Grigoris ; PAGONIS, Dimitris Nickos ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 12 (2003), Heft 6, S. 863-872
    Online academicJournal
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    Process-dependent thin-film thermal conductivities for thermal CMOS MEMS
    VON ARX, M ; PAUL, O ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 9 (1999), Heft 1, S. 136-145
    Online academicJournal
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    High-performance condenser microphone with fully integrated CMOS amplifier and DC-DC voltage converter
    PEDERSEN, M ; OLTHUIS, W ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 7 (1998), Heft 4, S. 387-394
    Online academicJournal
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    Hybrid postprocessing etching for CMOS-compatible MEMS
    TEA, N. H ; MILANOVIC, V ; et al.
    In: Journal of microelectromechanical systems, Jg. 6 (1997), Heft 4, S. 363-372
    Online academicJournal
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    CMOS-Based High-Density Silicon Microprobe Arrays for Electronic Depth Control in Intracortical Neural Recording
    Paul, Oliver ; Ruther, Patrick ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 20 (2011-12-01), S. 1439-1448
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    A CMOS-MEMS mirror with curled-hinge comb drives
    Pan, Yingtian ; Fedder, Gary K. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 12 (2003-08-01), S. 450-457
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