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    Effects of the ultrasonic flexural vibration on the interaction between the abrasive particles; pad and sapphire substrate during chemical mechanical polishing (CMP)
    WENHU, XU ; XINCHUN, LU ; et al.
    In: Applied surface science, Jg. 257 (2011), Heft 7, S. 2905-2911
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    Preparation of alumina/silica core-shell abrasives and their CMP behavior
    HONG, LEI ; PENGZHEN, ZHANG
    In: Applied surface science, Jg. 253 (2007), Heft 21, S. 8754-8761
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    Use of anionic surfactants for selective polishing of silicon dioxide over silicon nitride films using colloidal silica-based slurries
    PENTA, Naresh K ; AMANAPU, H. P ; et al.
    In: Applied surface science, Jg. 283 (2013), S. 986-992
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  4. Detailansicht für Treffer 4 öffnen
    Compressive elastic moduli and polishing performance of non-rigid core/shell structured PS/SiO2 composite abrasives evaluated by AFM
    AILIAN, CHEN ; WEIBIN, MU ; et al.
    In: Applied surface science, Jg. 290 (2014), S. 433-439
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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    Characterization of colloidal silica abrasives with different sizes and their chemical-mechanical polishing performance on 4H-SiC (0001)
    XIAOLEI, SHI ; GUOSHUN, PAN ; et al.
    In: Applied surface science, Jg. 307 (2014), S. 414-427
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  6. Detailansicht für Treffer 6 öffnen
    Tight-binding quantum chemical molecular dynamics simulation of mechano-chemical reactions during chemical-mechanical polishing process of SiO2 surface by CeO2 particle
    RAJENDRAN, Arivazhagan ; TAKAHASHI, Yasufumi ; et al.
    In: ICSFS-12: 12th International Conference on Solid Films and Surfaces, Hamamatsu, Japan, 21-25 June 2004, Jg. 244 (2005), Heft 1-4, S. 34-38
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Chemical mechanical polishing of stainless steel foil as flexible substrate
    XIAOKAI, HU ; ZHITANG, SONG ; et al.
    In: Applied surface science, Jg. 258 (2012), Heft 15, S. 5798-5802
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  8. Detailansicht für Treffer 8 öffnen
    Synthesis, characterization of ceria-coated silica particles and their chemical mechanical polishing performance on glass substrate
    ZEFANG, ZHANG ; WEILI, LIU ; et al.
    In: Applied surface science, Jg. 257 (2010), Heft 5, S. 1750-1755
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
  9. Detailansicht für Treffer 9 öffnen
    Removal of scratch on the surface of MgO single crystal substrate in chemical mechanical polishing process
    KANG, R. K ; WANG, K ; et al.
    In: Applied surface science, Jg. 254 (2008), Heft 15, S. 4856-4863
    academicJournal
    Wie komme ich dran?
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