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    Industrial-scale deposition of highly adherent CNx films on steel substrates
    Broitman, Esteban ; Rainer Prof. Dr. Cremer ; et al.
    2010
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    TiBCN:CNx multilayer coatings deposited by pulsed closed field unbalanced magnetron sputtering
    Lin, Jianliang ; Sproul, William D. ; et al.
    In: Surface and Coatings Technology, Jg. 206 (2011-11-01), S. 617-622
    Online unknown
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    Structure, optical and electrical properties of facing-target sputtered amorphous CNx films at low N2 partial pressures
    J Q Wu ; Bai, H.L. ; et al.
    In: Journal of Physics D: Applied Physics, Jg. 40 (2007-03-02), S. 1801-1806
    Online unknown
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    Structural properties of sputter-deposited CNx/TiN multilayer films
    Vyas, A. ; Shen, Yaogen ; et al.
    In: Thin Solid Films, Jg. 479 (2005-05-01), S. 31-37
    Online unknown
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    Study of electrical and optical properties of CNx thin films deposited by reactive magnetron sputtering
    Chodzinski, T. ; Prociów, E.L.
    In: Microelectronics Reliability, Jg. 51 (2011-07-01), S. 1207-1212
    Online unknown
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    Atomic Force Microscopy Studies of Carbon Nitride (CNx) Films Deposited on a Conducting Polymer Substrate
    Deslouis, C. ; Tamiasso-Martinhon, Priscila ; et al.
    In: The Journal of Physical Chemistry C, Jg. 114 (2010-10-07), S. 18474-18480
    Online unknown
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    Characterization of MN/CNx (M: Ti,Zr) Multilayer Thin Films Prepared by Ion Beam Sputtering Method
    Aoi, Yoshifumi ; Kamijo, Eiji ; et al.
    In: SHINKU, Jg. 45 (2002), S. 208-211
    Online unknown
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    Characterization of CNx thin films prepared by close field unbalanced magnetron sputtering
    Hong, Byungyou ; Myung, Hyun S. ; et al.
    In: Thin Solid Films, Jg. 475 (2005-03-01), S. 298-302
    Online unknown
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    Mechanical and tribological properties of CNx films deposited by reactive magnetron sputtering
    Larsson, Mats ; Broitman, Esteban ; et al.
    In: Wear, Jg. 248 (2001-03-01), S. 55-64
    Online unknown
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    Sputter-assisted plasma CVD of wide or narrow optical bandgap amorphous CNx:H films using i-C4H10/N2 supermagnetron plasma
    Yamaguchi, Tomuo ; Ikuta, Ryo ; et al.
    In: Thin Solid Films, Jg. 516 (2008-05-01), S. 4441-4445
    Online unknown
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  11. Detailansicht für Treffer 11 öffnen
    Surface characterization of Co/CNx granular films fabricated by nanolamination
    Ruby, C. ; Du, J. ; et al.
    In: Surface and Interface Analysis, Jg. 29 (2000), S. 38-45
    Online unknown
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  12. Detailansicht für Treffer 12 öffnen
    Influence of substrate bias voltage on the properties of CNx films prepared by reactive magnetron sputtering
    Hájek, Václav ; Martinu, Ludvik ; et al.
    In: Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films, Jg. 17 (1999-05-01), S. 899-908
    Online unknown
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    Water adsorption on lubricated fullerene-like CNx films
    Pushkarev, Vladimir V. ; Gellman, Andrew J. ; et al.
    In: Thin Solid Films, Jg. 515 (2006-11-01), S. 979-983
    Online unknown
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    A study of Ti–C–N(H) and Ti:CNx(H) coatings grown with a magnetron sputtering/PECVD hybrid deposition process
    Boscarino, D. ; Rigato, V. ; et al.
    In: Surface and Coatings Technology, Jg. 200 (2006-06-01), S. 6230-6234
    Online unknown
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  15. Detailansicht für Treffer 15 öffnen
    Growth responses of ultrathin CNx overcoats to process parameters
    Li, Dejun ; Chung, Yip-Wah
    In: Thin Solid Films, 2006-05-01, S. 207-211
    Online unknown
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  16. Detailansicht für Treffer 16 öffnen
    Synthesis and characterization of CNx/TiN multilayers on Si(100) substrates
    Kwok Yan Li ; Zhou, Zhifeng ; et al.
    In: Surface and Coatings Technology, Jg. 200 (2005-12-01), S. 2293-2300
    Online unknown
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  17. Detailansicht für Treffer 17 öffnen
    An electrical, optical and electron paramagnetic resonance study of room temperature deposited CNx films on Si
    Deligiannakis, Yiannis ; Logothetidis, Stergios ; et al.
    In: Thin Solid Films, Jg. 482 (2005-06-01), S. 270-274
    Online unknown
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  18. Detailansicht für Treffer 18 öffnen
    Nitrogen effect on the electrical properties of CNx thin films deposited by reactive magnetron sputtering
    Mumumbila, N. ; Tessier, P. Y. ; et al.
    In: Thin Solid Films, Jg. 482 (2005-06-01), S. 258-263
    Online unknown
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    Preparation of Hard CNx Films by Reactive Sputtering
    Hino, Tomoaki ; Hirohata, Yuko ; et al.
    In: SHINKU, Jg. 44 (2001), S. 306-309
    Online unknown
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    Composition, structure and mechanical property analysis of DC sputtered CNi and CNxNi nano-composite layers
    Sáfrán, György ; Tóth, András ; et al.
    In: Surface and Interface Analysis, Jg. 36 (2004-08-01), S. 760-764
    Online unknown
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