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    Deposition of conductive Ru and RuO2 thin films employing a pyrazolate complex [Ru(CO)3(3,5-(CF3)2-pz)]2 as the CVD source reagent
    SONG, Yi-Hwa ; CHEN, Yao-Lun ; et al.
    In: Chemical vapor deposition (Print), Jg. 9 (2003), Heft 3, S. 162-169
    Online academicJournal
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    CVD of MgO from a Mg(β-ketoiminate)2 : Preparation, characterization, and utilization of an intramolecularly stabilized, highly volatile, thermally robust precursor
    MATTHEWS, J. S ; JUST, O ; et al.
    In: Chemical vapor deposition (Print), Jg. 6 (2000), Heft 3, S. 129-132
    Online academicJournal
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    MOCVD of silver thin films from the (1,1,1,5,5,5-hexafluoro-2,4-pentanedionato)silver[bis(trimethylsilyl)acetylene] complex
    CHI, Kai-Ming ; LU, Ya-Hui
    In: Chemical vapor deposition (Print), Jg. 7 (2001), Heft 3, S. 117-120
    Online academicJournal
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    Crystal structure of Bi(OCMe2CH2 OMe)3 and its use in the MOCVD of Bi2O3
    WILLIAMS, Paul A ; JONES, Anthony C ; et al.
    In: Chemical vapor deposition (Print), Jg. 7 (2001), Heft 5, S. 205-209
    Online academicJournal
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    Structure and unusual substitution reaction of oligoether-appended β-diketonato strontium complex
    MIN, Yo-Sep ; YOUNG JIN, CHO ; et al.
    In: Chemical vapor deposition (Print), Jg. 9 (2003), Heft 5, S. 241-244
    Online academicJournal
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    The unusual thermal stabilization of MOCVD precursors by the dibenzoyl methanate group: Liquid injection MOCVD of tantalum oxide and niobium oxide using M(OEt)4(dbm) precursors
    WILLIAMS, Paul A ; JONES, Anthony C ; et al.
    In: Chemical vapor deposition (Print), Jg. 8 (2002), Heft 3, S. 110-116
    Online academicJournal
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    Volatile CeIII hexafluoroacetylacetonate glyme adducts as promising precursors for the MOCVD of CeO2 thin films
    MALANDRINO, Graziella ; LO NIGRO, Raffaella ; et al.
    In: Chemical vapor deposition (Print), Jg. 6 (2000), Heft 5, S. 233-238
    Online academicJournal
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    The crystal structure of unadducted strontium bis-tetramethylheptanedionate : The standard precursor for the MOCVD of strontium-containing oxides
    BROOKS, J ; DAVIES, H. O ; et al.
    In: Chemical vapor deposition (Print), Jg. 6 (2000), Heft 2, S. 66-69
    Online academicJournal
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    Synthesis and structural characterization of a novel magnesium β-diketonatoalkoxide complex : A new precursor for the MOCVD of MgO
    DAVIES, H. O ; JONES, A. C ; et al.
    In: Chemical vapor deposition (Print), Jg. 6 (2000), Heft 2, S. 71-75
    Online academicJournal
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    Preparation and structural characterization of, and chemical vapor deposition studies with, certain yttrium tris(β-diketonate) compounds
    LUTEN, H. A ; REES, W. S ; et al.
    In: Chemical vapor deposition (Print), Jg. 2 (1996), Heft 4, S. 149-161
    Online academicJournal
    Zugriff:
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