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    Deposition of large area uniform diamond films by microwave plasma CVD
    Liu, F. ; Weng, J. ; et al.
    In: Vacuum, Jg. 147 (2018), S. 134-142
    Online unknown
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    Wie komme ich dran?
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    Optical and electrical characterization of microwave power system chemical vapour deposited (MPS-CVD) graphene on Ni electroplated Cu foil at varying temperatures
    Onuu, Michael U. ; Arikpo, John U.
    In: Vacuum, Jg. 182 (2020-12-01), S. 109767-109767
    Online unknown
    Zugriff:
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    Wie komme ich dran?
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    Silicon–carbon thin films deposited by excimer lamp-CVD from disilane and ethylene
    Redondas, X. ; León, B. ; et al.
    In: Vacuum, Jg. 52 (1999), S. 51-54
    Online unknown
    Zugriff:
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    Wie komme ich dran?
  4. Detailansicht für Treffer 4 öffnen
    Amorphous carbon film deposition using a DC-biased screen-grid in an electron cyclotron resonance plasma
    Wu, YS ; Soon Fatt Yoon ; et al.
    In: Vacuum, Jg. 51 (1998-11-01), S. 445-451
    Online unknown
    Zugriff:
    View record in OpenAIRE (Volltext)
    Wie komme ich dran?
  5. Detailansicht für Treffer 5 öffnen
    Electron cyclotron resonance deposition of diamond-like films
    Pool, F.S ; Shing, Y.H
    In: Vacuum, Jg. 41 (1990), S. 1368-1370
    Online unknown
    Zugriff:
    View record in OpenAIRE (Volltext)
    Wie komme ich dran?
xs 0 - 576
sm 576 - 768
md 768 - 992
lg 992 - 1200
xl 1200 - 1366
xxl 1366 -