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In: Journal of Vacuum Science & Technology: Part A-Vacuums, Surfaces & Films, Jg. 35 (2017-05-01), Heft 3, S. 1-11academicJournalZugriff:
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In: Journal of Vacuum Science & Technology: Part A-Vacuums, Surfaces & Films, Jg. 35 (2017-05-01), Heft 3, S. 1-13academicJournalZugriff: