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    Two-objective metaheuristic optimization for floating gate transistor-based CMOS-MEMS inertial sensors
    Mendoza-Acevedo, S. ; Yesenia Eleonor Gonzalez-Navarro ; et al.
    In: Microsystem Technologies, Jg. 27 (2021-01-04), S. 2889-2901
    Online unknown
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    Validation of a CMOS-MEMS accelerometer based on FGMOS transduction by electromechanical modification of its coupling coefficient
    Griselda Stephany Abarca-Jimenez ; Miguel Angel Aleman-Arce ; et al.
    In: Microsystem Technologies, Jg. 25 (2019-03-29), S. 4163-4171
    Online unknown
    Zugriff:
    View record in OpenAIRE (Volltext)
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    A two-chip accelerometer system for automotive applications
    Ristic, Lj. ; Joseph, E. ; et al.
    In: Microsystem Technologies, Jg. 1 (1995-07-01), S. 121-123
    Online unknown
    Zugriff:
    View record in OpenAIRE (Volltext)
    Wie komme ich dran?
  4. Detailansicht für Treffer 4 öffnen
    Combination of LIGA with other microstructure technologies
    Hagena, O. F. ; Seidel, D. ; et al.
    In: Microsystem Technologies, Jg. 2 (1995-03-01), S. 162-166
    Online unknown
    Zugriff:
    View record in OpenAIRE (Volltext)
    Wie komme ich dran?
xs 0 - 576
sm 576 - 768
md 768 - 992
lg 992 - 1200
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