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    RF MEMS capacitive switch on semi-suspended CPW using low-loss high-resistivity silicon substrate
    Dainesi, P. ; Perruisseau-Carrier, Julien ; et al.
    In: Microelectronic Engineering, Jg. 85 (2008-05-01), S. 1039-1042
    Online unknown
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    Amorphous silicon carbide nitride layer as an alternative to a disordered silicon surface to suppress RF/microwave losses
    Evseev, S. ; Rejaei, Behzad ; et al.
    In: Microelectronic Engineering, Jg. 125 (2014-08-01), S. 2-7
    Online unknown
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    Low-loss microwave interconnections by using polymeric based coplanar waveguides on low resistivity silicon substrates
    Catoni, S. ; Marcelli, Romolo ; et al.
    In: Microelectronic Engineering, Jg. 85 (2008-02-01), S. 425-431
    Online unknown
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    Superconducting coplanar nanolines with 50 nm linewidth
    Scherer, Theo ; Wünsch, S. ; et al.
    In: Microelectronic Engineering, 2003-06-01, S. 363-368
    Online unknown
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    Micromachined SU8 negative resist for MMIC applications on low resistivity CMOS substrates
    McCloy, David ; Thayne, Iain G. ; et al.
    In: Microelectronic Engineering, 2003-06-01, S. 417-421
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    Low-loss through silicon Vias (TSVs) and transmission lines for 3D optoelectronic integration
    Shuxiao, Wang ; Liu, Yufei ; et al.
    In: Microelectronic Engineering, Jg. 238 (2021-02-01), S. 111509-111509
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    A 50–100 GHz ohmic contact SPDT RF MEMS silicon switch with dual axis movement
    Sim, Sung-min ; Llamas-Garro, Ignacio ; et al.
    In: Microelectronic Engineering, Jg. 162 (2016-08-01), S. 69-74
    Online unknown
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    Fabrication process and characterization of suspended graphene membranes for RF NEMS capacitive switches
    Sharma, Pankaj ; Vitale, Wolfgang A. ; et al.
    In: Microelectronic Engineering, Jg. 145 (2015-09-01), S. 5-8
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    Realization and characterization of surface micromachined tunable band stop CSRR filter using MEMS bridges on silicon substrate
    Gupta, Bhaskar ; Pradhan, Buddhadev
    In: Microelectronic Engineering, Jg. 133 (2015-02-01), S. 66-72
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    Effect of temperature on advanced Si-based substrates performance for RF passive integration
    Khaled Ben Ali ; Raskin, Jean-Pierre ; et al.
    In: Microelectronic Engineering, Jg. 120 (2014-05-01), S. 205-209
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    Capacitive RF switches manufactured by the CMOS–MEMS technique
    Dai, Ching-Liang ; Tsai, Zung-You ; et al.
    In: Microelectronic Engineering, Jg. 88 (2011-08-01), S. 2242-2246
    Online unknown
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  12. Detailansicht für Treffer 12 öffnen
    A micromachining technology for integrating low-loss GHz RF passives on non-high-resistivity low-cost silicon MCM substrate
    Wu, Zhengzheng ; Li, Xinxin
    In: Microelectronic Engineering, Jg. 87 (2010-11-01), S. 2247-2252
    Online unknown
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  13. Detailansicht für Treffer 13 öffnen
    Transmission property of flip chip package with adhesive interconnection for RF applications
    Kim, Jong-Woong ; Jung, Seung-Boo ; et al.
    In: Microelectronic Engineering, Jg. 86 (2009-03-01), S. 314-320
    Online unknown
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    Power performance and scalability study of AlGaAs/GaAs double-recessed pseudomorphic high electron mobility transistors on unthinned substrate for coplanar waveguide circuit applications
    Tan, Chee-Leong ; Radhakrishnan, K. ; et al.
    In: Microelectronic Engineering, Jg. 81 (2005-07-01), S. 22-28
    Online unknown
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