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    VHF plasma processing for in-line deposition systems
    RÜDIGER, J ; BRECHTEL, H ; et al.
    In: Proceedings of Symposium K on Thin Film Materials for Large Area Electronics of the E-MRS 2002 Spring Conference, Strasbourg, France, June 18-21, Jg. 427 (2003), Heft 1-2, S. 16-20
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Relationship between microstructure and photovoltaic performance in microcrystalline silicon film solar cells fabricated by a high-density microwave plasma
    OHKAWARA, Go ; NAKAJIMA, Masanobu ; et al.
    In: Proceedings of Symposium K on Thin Film Materials for Large Area Electronics of the E-MRS 2002 Spring Conference, Strasbourg, France, June 18-21, Jg. 427 (2003), Heft 1-2, S. 27-32
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Preparation of microcrystalline silicon seed-layers with defined structural properties
    VETTED, O ; HÜLSBECK, M ; et al.
    In: Proceedings of Symposium K on Thin Film Materials for Large Area Electronics of the E-MRS 2002 Spring Conference, Strasbourg, France, June 18-21, Jg. 427 (2003), Heft 1-2, S. 46-50
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Power density effects on the growth of microcrystalline silicon-carbon alloys by PECVD
    COSCIA, U ; AMBROSONE, G ; et al.
    In: Proceedings of Symposium K on Thin Film Materials for Large Area Electronics of the E-MRS 2002 Spring Conference, Strasbourg, France, June 18-21, Jg. 427 (2003), Heft 1-2, S. 284-288
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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    Characterization of polycrystalline SiC layers grown by ECR-PECVD for micro-electro-mechanical systems
    RICCIARDI, C ; BENNICI, E ; et al.
    In: Proceedings of Symposium K on Thin Film Materials for Large Area Electronics of the E-MRS 2002 Spring Conference, Strasbourg, France, June 18-21, Jg. 427 (2003), Heft 1-2, S. 187-190
    Konferenz
    Wie komme ich dran?
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sm 576 - 768
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